SEMICON Southeast Asia 2026
●会期 ：2026年5月5日（火）～7日（木）
●開催時間 ：10:00～17:00（最終日のみ16:00まで）
●会場 ：Malaysia International Trade and Exhibition Centre(MITEC)（マレーシア）
●小間番号 ：1386
●事前来場登録：事前来場登録はこちらから（英語）

出展品

半導体市場を支えるファインシステム機器

●ガス・不活性ガスの超精密制御に貢献するドライファインシステム
●薬液・純水・スラリーのスーパークリーンな制御を実現するウェットファインシステム
●チャンバなどの排気・圧力コントロールを高精度化する高真空制御機器

• エアオペレイトバルブ（高温・高耐久） AGDシリーズ
• エアオペレイトバルブ AMD※※3Rシリーズ
• 高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ

中・後工程対応製品もラインナップ

●自動化ニーズに貢献する多彩な電動機器

• 電動アクチュエータ　コントローラ内蔵形　（ガイド付タイプ）LRXG-STGシリーズ
• 電動アクチュエータ　コントローラ内蔵形（スライダタイプ）LRXE-BSシリーズ
• 電動アクチュエータ用　多軸コントローラ ECMGシリーズ
• 電動アクチュエータ ガイド付タイプ　DSTSシリーズ

　　　　

• τDISC スタンダードタイプ ND-sシリーズ

●オリジナル活性炭フィルタで99％以上の高い除去性能を実現

• シロキサン・オゾンリムーバ　SFXシリーズ

●圧縮空気から窒素ガスを手軽に精製

• 窒素ガス精製ユニット NS・NSUシリーズ

●繊細な部品の精密位置決め、荷重コントロールが可能

• 高精度球面倣い空気静圧軸受 エアジャイロ【特別仕様品】 LBC-Rシリーズ

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