商品詳細
フィルタ
シロキサン・オゾンリムーバ
- 形番
- SFX
シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。
99%の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。
- 業種
- 半導体製造工程(後工程)
- 実装

【2種類の汚染物質除去】
活性炭エレメントを採用し、シロキサンもしくはオゾンを除去。
【高圧対応可能】
圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま使用可能。
【高い除去率】
99%以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能。

【省スペース】
当社調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現。

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