SEMICON Korea 2026
●会期 ：2026年2月11日（水）～2月13日（金）
●開催時間 ：10：00～17：00（最終日は16時まで)
●会場 ：Coex（韓国・ソウル）
●小間番号 ：C316
●事前来場登録 ：事前来場登録はこちらから（英語）

出展品

半導体市場を支えるファインシステム機器

●ガスコントロール
ガス・不活性ガスの超精密制御に貢献するドライファインシステム

• エアオペレイトバルブ（高温・高耐久） AGDシリーズ
• プロセスガス用レギュレータ PGMシリーズ
• 集積化ガス供給システム IAGDシリーズ

●ケミカルコントロール
薬液・純水・スラリーのスーパークリーンな制御を実現するウェットファインシステム

• エアオペレイトバルブ AMD※※3Rシリーズ
• エアオペレイトバルブ（マニホールド） GAMD※※3Rシリーズ
• エアオペレイトバルブ（メタルレス） AMD※1Mシリーズ
• 薬液用マニュアルバルブMMD※03RNシリーズ
• パイロット式レギュレータ PMPシリーズ
• 電動流量調整バルブ MNVシリーズ
• ファインレベルスイッチ KMLシリーズ

●バキュームコントロール
チャンバなどの排気・圧力コントロールを高精度化する高真空制御機器

• 高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ
• 高真空用マニュアルバルブ MVBシリーズ

●電動、空圧機器など後工程対応製品もラインナップ

• 高精度球面倣い空気静圧軸受 エアジャイロ【特別仕様品】 LBC-Rシリーズ
• 電動アクチュエータ　ECVシリーズ
• 窒素ガス精製ユニットNS・NSUシリーズ
• τDISC スタンダードタイプ ND-sシリーズ
• 直動式3ポート弁 3QR・3QB・3QE・3QZシリーズ
• 速度制御弁付方向制御弁 【特別仕様品】 MN3/4E0・MN3/4E00シリーズ

労働環境の改善

●コンパクトなバランサで作業者の腕や手の負担を軽減　　

• コンパクトアームCAWシリーズ

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