SEMICON China 2026
●会期 ：2026年3月25日（水）～3月27日（金）
●開催時間 ：09：00～17：00（最終日は16時まで)
●会場 ： 上海新国際博覧センター（中国・上海）
●小間番号 ：Hall N2 2631
●事前来場登録 ：事前来場登録はこちらから（英語）

出展品

半導体市場を支えるファインシステム機器

●ガスコントロール
ガス・不活性ガスの超精密制御に貢献するドライファインシステム

• エアオペレイトバルブ（高温・高耐久） AGDシリーズ
• プロセスガス用レギュレータ PGMシリーズ
• 集積化ガス供給システム IAGDシリーズ

●ケミカルコントロール
薬液・純水・スラリーのスーパークリーンな制御を実現するウェットファインシステム

• エアオペレイトバルブ AMD※※3Rシリーズ
• エアオペレイトバルブ（マニホールド） GAMD※※3Rシリーズ
• エアオペレイトバルブ（メタルレス） AMD※1Mシリーズ
• 薬液用マニュアルバルブMMD※03RNシリーズ
• パイロット式レギュレータ PMPシリーズ
• 電動流量調整バルブ MNVシリーズ
• ファインレベルスイッチ KMLシリーズ

●バキュームコントロール
チャンバなどの排気・圧力コントロールを高精度化する高真空制御機器

• 高真空用エアオペレイトバルブ AVBシリーズ
• 高真空用マニュアルバルブ MVBシリーズ

●電動、空圧機器など中・後工程対応製品もラインナップ

• τDISC 高速回転タイプ ND-s HSシリーズ
• コントローラ内蔵形電動アクチュエータ スライダタイプ　LRXE-BSシリーズ
• 方向制御弁マニホールド　裏配管シリーズ【特別仕様品】　M3/4GB・M3QRBシリーズ
• パイロット式3・5ポート弁 プラグインブロックマニホールド　TVGシリーズ
• リモートI/O　RTシリーズ

●目視による透明体の検査にかかるコスト、そしてリスクを解決するCKD独自のソリューション

• 透明体検査装置　IS-UVCL01

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