商品一覧
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- 半導体製造工程
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
エジェクタシステム
真空エジェクタユニット（10.3ｍｍ幅）
- 形番
- VSN・VSNM
高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸込み流量】2~9.5 (L/min(ANR))
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
特殊シリンダ
エアベアリングアクチュエータ
- 形番
- LBC
非接触エアベアリング機構を採用した摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータです。電空レギュレータ（EV）との組合せにより繊細で精密な荷重コントロールを実現します。
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
- 実装
わかば商品【特別仕様品】
小形電磁比例弁 【特別仕様品】
- 形番
- 3QB
- 資料・ダウンロード
カタログPDF
CKD plus 会員限定
わかば商品【特別仕様品】
アブソデックス 防水・防塵タイプ【特別仕様品】
- 形番
- AX8R
水滴や粉塵の多い環境下での回転位置決めに最適なアクチュエータです。
保護等級は、IP65相当を実現しました。
新型コントローラ対応で立上げ時間を60％削減しています。
- 業種
- 組立
- 検査
- 実装
- 歯科医療装置
- 半導体製造工程（後工程）
- 資料・ダウンロード
カタログPDF
CKD plus 会員限定
わかば商品【特別仕様品】
電動アクチュエータ モータレス仕様 スライダタイプ【特別仕様品】
- 形番
- EFS
NEW
薄形・軽量タイプの電動アクチュエータです。
装置の小形化・軽量化に貢献します。
本体色が黒色の為、画像検査時の光による反射を低減します。
- 業種
- 検査
- ハンドリング
- 実装
- 搬送
- 半導体製造工程（後工程）
パイロット式3ポート弁
食品製造工程向け商品FPシリーズ パイロット式3ポート弁
- 形番
- 3GA/BR-FP1
食品製造工程用 FP※シリーズ
環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】
FP1：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を使用。
- 業種
- 組立
- 半導体製造工程（後工程）
パイロット式3ポート弁
二次電池製造工程向け商品P4※シリーズ パイロット式3ポート弁
- 形番
- 3GD/ER-P4
二次電池製造工程用 P4※シリーズ
パイロット式3ポート弁
二次電池製造工程向け商品P4※シリーズ パイロット式3ポート弁
- 形番
- 3GA/BR-P4
二次電池製造工程用 P4※シリーズ
流量センサ・コントローラ
クリーン機器用P5※・P7※シリーズ 小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM3-P70・FSM3-P80
NEW
クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ
【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。
P70：発塵防止
P80：禁油処理
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
高真空用機器
電動真空弁
- 形番
- EVB
2021/3/31販売終了
【販売終了品】
代替商品：IAVBシリーズ
モータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 半導体製造工程（後工程）
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