摺動部の耐摩耗性と摺動性を向上させ、大幅な寿命アップと応答性の安定化を実現しました。
【適応シリンダ径：~Φ40】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

軸受けやブラケット等を別途設置する必要なく負荷をダイレクトに取り付けるだけで精度よく位置決めができる回転アクチュエータです。
簡単にインデックステーブルの装置を作ることができるので、設計工数と組立工数を削減し、生産設備のシンプル化と生…

業種

• 組立
• 検査
• 半導体製造工程（後工程）

【NEW】AC200V対応オプションを追加しました。
対応通信拡大しました。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 空気圧サプライ
• 精製水製造
• 調整
• 濾過
• 製袋(輸液バックの場合)
• 充填
• 滅菌(オートクレーブ)
• 包装
• 打錠
• 培養
• 分取
• 滅菌装置
• 理化学分析装置
• 半導体製造工程（後工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。
99％の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 実装

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

【NEW】バリエーション追加。
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。

業種

• 搬送
• 組立
• ハンドリング
• 検査
• 実装
• 半導体製造工程（後工程）