小形直動3ポート弁です。連続通電、自己保持、省配線に対応する特別仕様品です。
（3種類の製品を１つの商品ページに掲載しています。）

【適応シリンダ径：Φ6~Φ20】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器

裏配管仕様のマニホールド電磁弁です。食品機械、水処理プラント、半導体製造装置など、省スペースの制御盤への設置に最適です。ガスケット*1との組み合わせにより、防滴性が求められる制御盤においても、エアと電気の分離設置が可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。
99％の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 実装

電流に比例して流量制御できる比例電磁弁です。
10mm幅の超小型、静音設計。装置の省スペース化に貢献します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

薄形・軽量タイプの電動アクチュエータです。
装置の小形化・軽量化に貢献します。
本体色が黒色の為、画像検査時の光による反射を低減します。

資料・ダウンロード「2DCAD」より3DCADデータをダウンロードいただけま…

業種

• 検査
• ハンドリング
• 実装
• 搬送
• 半導体製造工程（後工程）

ロボット先端ツールをロボット自身で自動交換できます。最小1kg可搬～最大300kg可搬、全11サイズのバリエーションで小形から大形、様々なサイズのロボットに対応します。
【サイズ全11種類】可搬質量（kg）　1、3、7、12、25、4…

業種

• ハンドリング
• 半導体製造工程（後工程）
• 搬送

摺動部の耐摩耗性と摺動性を向上させ、大幅な寿命アップと応答性の安定化を実現しました。
【適応シリンダ径：~Φ40】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器