水滴や粉塵の多い環境下での回転位置決めに最適なアクチュエータです。
保護等級は、IP65相当を実現しました。
新型コントローラ対応で立上げ時間を60％削減しています。

業種

• 組立
• 検査
• 実装
• 歯科医療装置
• 半導体製造工程（後工程）

軸受けやブラケット等を別途設置する必要なく負荷をダイレクトに取り付けるだけで精度よく位置決めができる回転アクチュエータです。
簡単にインデックステーブルの装置を作ることができるので、設計工数と組立工数を削減し、生産設備のシンプル化と生…

業種

• 組立
• 検査
• 半導体製造工程（後工程）

【NEW】AC200V対応オプションを追加しました。
対応通信拡大しました。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 空気圧サプライ
• 精製水製造
• 調整
• 濾過
• 製袋(輸液バックの場合)
• 充填
• 滅菌(オートクレーブ)
• 包装
• 打錠
• 培養
• 分取
• 滅菌装置
• 理化学分析装置
• 半導体製造工程（後工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

【NEW】バリエーション追加。
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。

業種

• 搬送
• 組立
• ハンドリング
• 検査
• 実装
• 半導体製造工程（後工程）

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

• シールドガス
• 半導体製造工程（後工程）
• N2パージ関連機器

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。

業種

• シールドガス
• N2パージ関連機器
• 理化学分析装置

カセットタイプで、さらに小形化（高さ39.5mm）を実現した高性能3・4ポートブロックマニホールドです。
【適応シリンダ径：Φ20~Φ40】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

薬液・純水供給部の圧力変動を、パイロットエアコントロールにより安定化できるレギュレータです。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更も可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）