軸受けやブラケット等を別途設置する必要なく負荷をダイレクトに取り付けるだけで精度よく位置決めができる回転アクチュエータです。
簡単にインデックステーブルの装置を作ることができるので、設計工数と組立工数を削減し、生産設備のシンプル化と生…

業種

• 組立
• 検査
• 半導体製造工程（後工程）

大中空構造が、マシン設計の自由度を向上します（中空径：52mm～150mm）。
耐環境性に優れ、性能を向上させた磁気式ABSエンコーダを採用しています。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

剛性と精度を追求した高剛性タイプです。
モーメント剛性・アキシャル剛性・ロータねじり剛性を大幅に向上しました。
定格トルク：10～2000N･mをラインアップしています。

業種

• 検査
• 半導体製造工程（後工程）

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

• シールドガス
• 半導体製造工程（後工程）
• N2パージ関連機器

お客様がよくお使いのスペックを標準装備したリニアスライドシリンダのベーシックモデルです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

徹底した軽量化と設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富な高剛性リニアガイド付きシリンダです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

高精度・高剛性を重視した幅広ガイドを搭載。設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富なリニアガイド付きシリンダです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。（エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど）
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径：Φ…

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器
• 透析監視装置
• 歯科医療装置

バルブ1連につき3ポート弁を2個搭載し、設置スペースを削減した直動式ブロックマニホールです。給排気ポートの取出し位置が選択できるため、配管取回しの自由度が向上します。
【適応シリンダ径：Φ４~Φ16】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

【NEW】AC200V対応オプションを追加しました。
対応通信拡大しました。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 空気圧サプライ
• 精製水製造
• 調整
• 濾過
• 製袋(輸液バックの場合)
• 充填
• 滅菌(オートクレーブ)
• 包装
• 打錠
• 培養
• 分取
• 滅菌装置
• 理化学分析装置
• 半導体製造工程（後工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器