【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

• シールドガス
• 半導体製造工程（後工程）
• N2パージ関連機器

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。

業種

• シールドガス
• N2パージ関連機器
• 理化学分析装置

カセットタイプで、さらに小形化（高さ39.5mm）を実現した高性能3・4ポートブロックマニホールドです。
【適応シリンダ径：Φ20~Φ40】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

薬液・純水供給部の圧力変動を、パイロットエアコントロールにより安定化できるレギュレータです。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更も可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 特殊用途・搬送

□31mmのコンパクトな1画面2色表示圧力スイッチです。保護構造IP65に対応しています。（配管接続：めねじ追加しました）

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。
圧力の（現在値）と（設定値）を同時に確認できる２画面表示や、3色表示、設定内容コピー機能、3つのモード設定など使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサです。
IO-…

業種

• 半導体製造工程（後工程）

小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。（エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど）
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径：Φ…

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器
• 透析監視装置
• 歯科医療装置

お客様がよくお使いのスペックを標準装備したリニアスライドシリンダのベーシックモデルです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

徹底した軽量化と設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富な高剛性リニアガイド付きシリンダです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立