商品一覧
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- 半導体製造工程
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
レギュレータ
パイロット式レギュレータ
- 形番
- PMP
NEW
電空レギュレータ
デジタル電空レギュレータ
- 形番
- EVD
NEW
空気用圧力センサ
デジタル表示付電子式圧力スイッチ
- 形番
- PPG
空気用圧力センサ
デジタル圧力センサ
- 形番
- PPX
直動式3ポート電磁弁
直動式3ポート弁
- 形番
- 3QR・3QB・3QE・3QZ
リニアガイド付シリンダ
リニアスライドシリンダ
- 形番
- LCW
リニアガイド付シリンダ
リニアスライドシリンダ
- 形番
- LCR
リニアガイド付シリンダ
リニアスライドシリンダ
- 形番
- LCG
特殊シリンダ
エアベアリングアクチュエータ
- 形番
- LBC
エアオペレイト式3・4・5ポート弁
マスタバルブ
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- 4GA/BR・M4GA/BR
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