商品一覧

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窒素

インライン酸素濃度計

形番
PNA

NEW

加圧下で酸素濃度を測定できる酸素濃度計です。
ガス精製システムにインライン接続できるため、酸素濃度の常時監視が可能となり、システムの異常や保全時期の把握などにも役立ちます。

業種
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取扱説明書

窒素

窒素ガス精製ユニット

形番
NS

NEW

酸化防止、防爆の為に必要な高純度窒素を圧縮空気から手軽に分離精製します。5L/min~535L/min(窒素濃度最高99.9%)まで幅広いラインナップをご用意しております。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
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取扱説明書

残圧排出弁

スプール位置検出機能付残圧排出弁

形番
SNS

NEW

安全規格ISO13849-1に準拠した業界最小クラスの残圧排出弁です。

業種
  • クランプ
  • 位置決め
  • 搬送
  • 圧入・プレス
  • 安全
  • 組立
  • 空気圧サプライ
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取扱説明書

流量センサ・コントローラ

小形流量センサ ラピフロー(R)

形番
FSM3

NEW

1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種
  • シールドガス
  • 半導体製造工程(後工程)
  • N2パージ関連機器
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取扱説明書

ソフトウェア

モーターレス

電動アクチュエータガイド内蔵形ロッドタイプ

形番
EBR-L

NEW

ガイド内蔵ロッドで、併設ガイドの必要性を低減しました。
耐ラジアル性能を向上したガイド内蔵ロッドタイプです。
オフセットしたワークにも対応可能です。

業種
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