商品一覧
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- 半導体製造工程
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
集積化ガス供給システム
集積化ガス供給システム
- 形番
- IAGD3
省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、CSシール対応。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 薬ガス供給設備向け機器
集積化ガス供給システム
クリーンパネル
- 形番
- FICS
高精度タイプ
τDISC 大中空径タイプ
- 形番
- FD-s
大中空構造が、マシン設計の自由度を向上します（中空径：52mm～150mm）。
耐環境性に優れ、性能を向上させた磁気式ABSエンコーダを採用しています。
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
高精度タイプ
τDISC 高剛性タイプ
- 形番
- DD-s
剛性と精度を追求した高剛性タイプです。
モーメント剛性・アキシャル剛性・ロータねじり剛性を大幅に向上しました。
定格トルク：10～2000N･mをラインアップしています。
- 業種
- 検査
- 半導体製造工程（後工程）
流量センサ・コントローラ
クリーン機器用P5※・P7※シリーズ 小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM3-P70・FSM3-P80
NEW
クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ
【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。
P70：発塵防止
P80：禁油処理
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
高真空用機器
電動真空弁
- 形番
- EVB
2021/3/31販売終了
【販売終了品】
代替商品：IAVBシリーズ
モータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 半導体製造工程（後工程）
流量センサ・コントローラ
圧縮空気用流量センサ（表示一体形 FLUEREX）
- 形番
- PF・PFU
2019/3/31販売終了
流量センサ・コントローラ
カルマン渦式水用流量センサフルーレックス
- 形番
- WFK5000・WFK6000・WFK7000
2019/12/27販売終了
【販売終了品】
カルマン渦検出方式の水用流量センサです。
代替商品：カルマン渦式水用流量センサフルーレックスWFK2シリーズ
- 業種
- センサ
- 半導体製造工程（後工程）
- 理化学分析装置
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