省エネタイプの真空排気装置。プロセスガス排気用バキュームジェネレータです。
ノズル径：Φ0.5

業種

• 薬ガス供給設備向け機器

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。

業種

• シールドガス
• N2パージ関連機器
• 理化学分析装置

表示分離型の圧縮空気用流量センサです。
大流量計測に最適です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）
• 理化学分析装置

□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。
圧力の（現在値）と（設定値）を同時に確認できる２画面表示や、3色表示、設定内容コピー機能、3つのモード設定など使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサです。
IO-…

業種

• 半導体製造工程（後工程）

□31mmのコンパクトな1画面2色表示圧力スイッチです。保護構造IP65に対応しています。（配管接続：めねじ追加しました）

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。

業種

• 搬送
• 組立
• ハンドリング
• 検査
• 実装
• 半導体製造工程（後工程）

吸着面にフッ素樹脂多孔質を採用した高精度な吸着プレートです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）