商品一覧
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- 半導体製造工程
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
エジェクタシステム
真空エジェクタユニット（10.3ｍｍ幅）
- 形番
- VSN・VSNM
高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸込み流量】2~9.5 (L/min(ANR))
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
吸着パッド
精密吸着プレート
- 形番
- PVP
エアオペレイトバルブ
薬液用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R
薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 薬液供給設備向け機器
エアオペレイトバルブ
薬液用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※※2・AMG※※2・GAMD※※2・GAMD0※2A
一部バリエーション販売終了
薬液用エアオペレイトバルブのスタンダードタイプ。
成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズです。
マニホールドも2種類から選択可能です。
高圧仕様もラインアップしております。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
エアオペレイトバルブ
高圧用薬液エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※1H
エアオペレイトバルブ
薬液用エアオペレイトバルブ メタルレスタイプ
- 形番
- AMD※1M
マニュアルバルブ
薬液用マニュアルバルブ
- 形番
- MMD※※2・GMMD※※2
マニュアルバルブ
給液用薬液マニュアルバルブ
- 形番
- MMD※0H
マニュアルバルブ
薬液用マニュアルバルブ メタルレスタイプ)
- 形番
- MMD※0M
サックバックバルブ
エアオペレイトバルブ・サックバックバルブ一体形
- 形番
- AMDS
コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
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