半導体製造工場における薬液供給設備などでの強酸(塩酸・ふっ酸・硝酸)ラインに対応できるよう設計されたバルブです。

業種

• 薬液供給設備向け機器

薬液用マニュアルバルブのスタンダードタイプ。
成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズ。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

半導体製造工場における薬液供給設備などでの高圧・高背圧に対応できるよう設計されたバルブです。

業種

• 薬液供給設備向け機器

半導体製造工場における薬液供給設備などでの強酸(塩酸・ふっ酸・硝酸)ラインに対応できるよう設計されたバルブです。

業種

• 薬液供給設備向け機器

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

コータ・デベロッパ向け、およびベーシックタイプの薬液用エアオペレイトバルブです。
ベーシックな継手ラインナップ。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

純水などの圧力制御用のマニュアル式レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

電動式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。
遠隔操作によって設定流量の変更が可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

マニュアル式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

メタルダイアフラム採用のプロセスガス用バルブの追加バリエーションです。高い信頼性と耐久性を継承しつつ、工法を最適化したエコノミーモデルです。
エアオペレイトタイプ、マニュアルタイプをご用意しております。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• 薬液供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器