商品一覧
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- 半導体製造工程
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
直動式3ポート電磁弁
ブロックマニホールド
- 形番
- MN3Q
流量センサ・コントローラ
気体用超小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM
一部バリエーション販売終了
流量センサ・コントローラ
カルマン渦式水用流量センサフルーレックス
- 形番
- WFK3000
流量センサ・コントローラ
圧縮空気用流量センサ(表示分離形 FLUEREX)
- 形番
- PFD
流量センサ・コントローラ
気体用流量センサテスタキット
- 形番
- PFK
一部バリエーション販売終了
エジェクタシステム
真空エジェクタユニット(10.3mm幅)
- 形番
- VSN・VSNM
吸着パッド
精密吸着プレート
- 形番
- PVP
エアオペレイトバルブ
薬液用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R
エアオペレイトバルブ
薬液用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※※2・AMG※※2・GAMD※※2・GAMD0※2A
一部バリエーション販売終了
エアオペレイトバルブ
高圧用薬液エアオペレイトバルブ
- 形番
- AMD※1H
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