高精度・高剛性を重視した幅広ガイドを搭載。設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富なリニアガイド付きシリンダです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

非接触エアベアリング機構を採用した摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータです。電空レギュレータ（EV）との組合せにより繊細で精密な荷重コントロールを実現します。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 実装

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁のマスタバルブです。
【適応シリンダ径：Φ20~100】

業種

• 組立
• 空気圧サプライ
• 精製水製造
• 調整
• 濾過
• 製袋(輸液バックの場合)
• 充填
• 滅菌(オートクレーブ)
• 包装
• 打錠
• 培養
• 分取
• 滅菌装置
• 理化学分析装置
• 半導体製造工程（後工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

バルブ1連につき3ポート弁を2個搭載し、設置スペースを削減した直動式ブロックマニホールです。給排気ポートの取出し位置が選択できるため、配管取回しの自由度が向上します。
【適応シリンダ径：Φ４~Φ16】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）
• 理化学分析装置

表示分離型の圧縮空気用流量センサです。
大流量計測に最適です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸込み流量】2~9.5　(L/min(ANR))

業種

• 半導体製造工程（後工程）

吸着面にフッ素樹脂多孔質を採用した高精度な吸着プレートです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器