商品一覧

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半導体製造工程

デジタルカタログ

半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

直動式3ポート電磁弁

ブロックマニホールド

形番
MN3Q

バルブ1連につき3ポート弁を2個搭載し、設置スペースを削減した直動式ブロックマニホールです。給排気ポートの取出し位置が選択できるため、配管取回しの自由度が向上します。
【適応シリンダ径:Φ4~Φ16】

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器
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取扱説明書

2D CAD

CKD plus 会員限定

流量センサ・コントローラ

気体用超小形流量センサ ラピフロー®

形番
FSM

一部バリエーション販売終了

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)

流量センサ・コントローラ

カルマン渦式水用流量センサフルーレックス

形番
WFK3000

カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 理化学分析装置

流量センサ・コントローラ

圧縮空気用流量センサ(表示分離形 FLUEREX)

形番
PFD

表示分離型の圧縮空気用流量センサです。
大流量計測に最適です。

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程(後工程)

流量センサ・コントローラ

気体用流量センサテスタキット

形番
PFK

一部バリエーション販売終了

空気流量の測定機器をキット化したものです。現場で即流量測定が可能です。

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程(後工程)
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エジェクタシステム

真空エジェクタユニット(10.3mm幅)

形番
VSN・VSNM

高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸込み流量】2~9.5 (L/min(ANR))

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
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吸着パッド

精密吸着プレート

形番
PVP

吸着面にフッ素樹脂多孔質を採用した高精度な吸着プレートです。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)

エアオペレイトバルブ

薬液用エアオペレイトバルブ

形番
AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R

薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
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エアオペレイトバルブ

薬液用エアオペレイトバルブ

形番
AMD※※2・AMG※※2・GAMD※※2・GAMD0※2A

一部バリエーション販売終了

薬液用エアオペレイトバルブのスタンダードタイプ。
成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズです。
マニホールドも2種類から選択可能です。
高圧仕様もラインアップしております。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)

エアオペレイトバルブ

高圧用薬液エアオペレイトバルブ

形番
AMD※1H

半導体製造工場における薬液供給設備などでの高圧・高背圧に対応できるよう設計されたバルブです。

業種
  • 薬液供給設備向け機器
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