プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。

業種

• 搬送
• 組立
• ハンドリング
• 検査
• 実装
• 半導体製造工程（後工程）

真空破壊機構を備えた真空エジェクタ用の真空破壊ユニットです。
真空エジェクタの真空特性はそのままに真空破壊エアを制御可能にします。
【接続口径】Φ4, Φ6

業種

真空用圧力スイッチの表示には、デジタル表示を採用し、視認性を向上させました。
【接続口径】M5, Φ4, Φ6, Φ8, 直付

業種

ペン形のエアピンセット、吸着パッドと真空エジェクタを内蔵しました。小部品の組み立てなどに最適です。

業種

様々な形状、材質のバリエーションをご用意しております。各種あらゆるワークと多様な搬送環境に対応可能できるワイドバリエーションを揃えています。
【パッド形状】スタンダード、スポンジ、ベローズ、多段ベローズ、長円、ソフト、ソフトベローズ、…

業種

吸着面にフッ素樹脂多孔質を採用した高精度な吸着プレートです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

破壊エア流量&リリーフ圧力調整ニードル付真空切換ユニットです。
全ての機能が集約されたスタンダードタイプです。
【真空弁有効断面積】3.5, 5　(㎟)

業種

小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化した真空切換ユニットです。
【真空弁有効断面積】0.4　(㎟)

業種

• ハンドリング

10.5ｍｍ幅のコンパクトボディで、多連で使用しても設置がコンパクトな真空切換ユニットです。
【真空弁有効断面積】
2方弁仕様：3.5, 4.5　(㎟)
3方弁仕様：3.0, 3.6　(㎟)

業種

大流量の真空制御に最適な真空切換ユニットです。
【真空弁有効断面積】16.5　(㎟)

業種

• 治具関連