業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

圧縮空気が得られない場所でもAC100V電源のみで、手軽にきれいなエアを供給できる小型コンプレッサーです。キャリーケースに必要な機器が全て内蔵されているため簡単に持ち運びができます。デザイン性に優れ、オフィス・研究ラボ・展示会・各種イベント…

業種

酸化防止、防爆用途などに必要な高純度窒素を圧縮空気から手軽に分離精製します。新たに設置の自由度を向上させた「横置き設置」が選択できるようになりました。また、窒素濃度も90%～99.9％の幅広いレンジで使用が出来るようになりました。17流量、…

業種

• シールドガス
• 実装
• 包装
• 充填

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。

業種

• シールドガス
• N2パージ関連機器
• 理化学分析装置

表示分離型の圧縮空気用流量センサです。
大流量計測に最適です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）
• 理化学分析装置

スルー構造の流量センサです。異物のつまりや検出不良がおきません。スポット溶接機・各種工作機・高周波焼入れ装置などに最適です。

業種

• 冷却水
• 耐環境
• クーラント制御

【販売終了品】
代替商品：FSM3シリーズ
※分離表示器：FSM2-Dシリーズは販売終了対象外です。

2画面2色表示の気体用小形流量センサです。
表示一体型、分離表示型の2種類をラインナップしています。

業種

• シールドガス
• 検査
• 理化学分析装置

2018年度グッドデザイン賞を受賞しました。
0.4～250L/minをカバーするカルマン渦式流量センサです。各種出力の切替設定が可能でIO-Link通信にも対応しています。液温測定機能を標準装備し、流体温度95℃まで対応しており、各…

業種

• 理化学分析装置