フィルタとレギュレータを一体化し、ダスト除去用5μmとタール除去用0.3μmのエレメントをシリーズ化しました。

標準品の他、以下のバリエーションがございます。
P6:ノンパープル仕様
P11:オゾン対応品

業種

フィルタとレギュレータを一体化し、スパッタに強い難燃タイプです。

業種

半導体製造ラインや、小型装置分野での使用に最適です。コンパクト・省スペース・逆流機能内蔵型です。

業種

フィルタとレギュレータを一体化した小形のF.Rユニットです。ダスト除去用の5μmエレメントです。

業種

ダスト除去用5μmエレメント・タール除去用0.3μmのエレメントをシリーズ化しました。

標準でノンパープル仕様(P6)です。

業種

• 歯科医療装置

モジュール設計のFRLシリーズエアフィルタで、スパッタに強い難燃タイプです。

業種

F3000~F8000シリーズの中圧仕様です。
最高使用圧力1.6MPa、耐圧力2.4Mpaの仕様です。

業種

M3000~M8000の中圧仕様です。
最高使用圧力1.6MPa、耐圧力2.4Mpaの仕様です。

業種

二次側油分濃度0.001mg/㎥で、光学式位置決め装置やレーザー加工機等の光学装置に最適です。

業種

• 空気圧サプライ

ダスト除去用小形エアフィルタです。
【接続口径】Rc1/8～1/4

業種