薬液用マニュアルバルブのスタンダードタイプ。
成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズ。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

微小流量を調整できるマニュアル式の流量調整弁です。

業種

マニュアル式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

電動式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。
遠隔操作によって設定流量の変更が可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

純水などの圧力制御用のマニュアル式レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

薬液・純水供給部の圧力変動を、パイロットエアコントロールにより安定化できるレギュレータです。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更も可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。

業種

PVCボディを使用したFPDや太陽電池製造ラインなどの純水制御に使用できるミドルレンジバルブ。シリーズ全てでウォーターハンマ低減構造を採用しており、大口径配管における弁閉時の衝撃を抑えることが可能です。

業種