半導体製造ラインや、小型装置分野での使用に最適です。コンパクト・省スペース・逆流機能内蔵型です。

業種

フィルタとレギュレータを一体化した小形のF.Rユニットです。ダスト除去用の5μmエレメントです。

業種

ダスト除去用5μmエレメント・タール除去用0.3μmのエレメントをシリーズ化しました。

標準でノンパープル仕様(P6)です。

業種

• 歯科医療装置

モジュール設計のFRLシリーズエアフィルタで、スパッタに強い難燃タイプです。

業種

F3000~F8000シリーズの中圧仕様です。
最高使用圧力1.6MPa、耐圧力2.4Mpaの仕様です。

業種

M3000~M8000の中圧仕様です。
最高使用圧力1.6MPa、耐圧力2.4Mpaの仕様です。

業種

二次側油分濃度0.001mg/㎥で、光学式位置決め装置やレーザー加工機等の光学装置に最適です。

業種

• 空気圧サプライ

ダスト除去用小形エアフィルタです。
【接続口径】Rc1/8～1/4

業種

ニップル接続タイプの大口径フィルタです。シリーズ・サイズ共に豊富なラインナップを揃えています。

業種

クリーンルーム内での直接排気を実現できます。中空糸膜構造の採用により、空圧回路内で使用された排気エアを高い精度で清浄化できる画期的ろ過器・クリーン排気フィルタです。

業種