従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

ハンドル回転式の高真空用マニュアルバルブです。
アルミボディタイプとSUSボディタイプをご用意しております。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.125inch、Wシール対応。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、Wシール対応。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、CSシール対応。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

お客様のご要望・フローに応じて設計、製造、検査までCKDがユニット保証します。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

【販売終了品】
代替商品：SSDシリーズ、SSD2シリーズ

業種

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【販売終了品】
代替商品：JSC3シリーズ

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