破壊エア流量＆リリーフ圧力調整ニードル付の真空エジェクタユニットです。
【ノズル径(㎜)】0.5, 0.7, 1.0, 1.2
【吸込み流量(L/min(ANR))】7~38

業種

高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸込み流量】2~9.5　(L/min(ANR))

業種

• 半導体製造工程（後工程）

10.5ｍｍ幅のコンパクトボディで、多連で使用しても設置がコンパクトな真空エジェクタユニットです。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸込み流量】3~26　(L/min(ANR))

業種

大流量の制御に最適な真空エジェクタユニットです。
【ノズル径】0.7, 1.0, 1.2, 1.5, 2.0　(㎜)
【吸込み流量】24~180　(L/min(ANR))

業種

小型・軽量で真空破壊時間を大幅に短縮した真空エジェクタユニットです。
省配線マニホールドタイプです。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸込み流量】7~24　(L/min(ANR))

業種

破壊エア流量&リリーフ圧力調整ニードル付真空切換ユニットです。
全ての機能が集約されたスタンダードタイプです。
【真空弁有効断面積】3.5, 5　(㎟)

業種

小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化した真空切換ユニットです。
【真空弁有効断面積】0.4　(㎟)

業種

• ハンドリング

10.5ｍｍ幅のコンパクトボディで、多連で使用しても設置がコンパクトな真空切換ユニットです。
【真空弁有効断面積】
2方弁仕様：3.5, 4.5　(㎟)
3方弁仕様：3.0, 3.6　(㎟)

業種

大流量の真空制御に最適な真空切換ユニットです。
【真空弁有効断面積】16.5　(㎟)

業種

• 治具関連

小形・軽量で真空破壊時間を大幅に短縮する真空切換ユニットです。
省配線を可能にするマニホールド真空切換ユニットです。
バルブ消費電力0.55W、自己保持タイプも選択可能で省エネに対応します。
【真空弁有効断面積】4.5(㎟…

業種

• 治具関連