コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。

業種

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

コータ・デベロッパ向け、およびベーシックタイプの薬液用エアオペレイトバルブです。
ベーシックな継手ラインナップ。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

純水などの圧力制御用のマニュアル式レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

電動式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。
遠隔操作によって設定流量の変更が可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

マニュアル式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

微小流量を調整できるマニュアル式の流量調整弁です。

業種

メタルダイアフラム採用のプロセスガス用バルブの追加バリエーションです。高い信頼性と耐久性を継承しつつ、工法を最適化したエコノミーモデルです。
エアオペレイトタイプ、マニュアルタイプをご用意しております。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• 薬液供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です。
単体、集積タイプだけではなく、3方弁、2連3方弁など多種多様な
バリエーションに対応をしております。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• 薬液供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。
お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。

業種

• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器