商品一覧

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半導体製造工程

デジタルカタログ

半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

電空レギュレータ

デジタル電空レギュレータ

形番
EVD

NEW

圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 特殊用途・搬送
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取扱説明書

ソフトウェア

2D CAD

3D CAD

CKD plus 会員限定

流量センサ・コントローラ

小形流量コントローララピフロー (R)

形番
FCM

NEW

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。

業種
  • シールドガス
  • N2パージ関連機器
  • 理化学分析装置

空気用圧力センサ

デジタル表示付電子式圧力スイッチ

形番
PPG

NEW

□31mmのコンパクトな1画面2色表示圧力スイッチです。保護構造IP65に対応しています。(配管接続:めねじ追加しました)

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程(後工程)
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CKD plus 会員限定

流量センサ・コントローラ

小形流量センサ ラピフロー(R)

形番
FSM3

1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種
  • シールドガス
  • 半導体製造工程(後工程)
  • N2パージ関連機器

空気用圧力センサ

デジタル圧力センサ

形番
PPX

□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。
圧力の(現在値)と(設定値)を同時に確認できる2画面表示や、3色表示、設定内容コピー機能、3つのモード設定など使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサです。
IO-…

業種
  • 半導体製造工程(後工程)