SEMICON Southeast Asia 2026
●日期 ：2026年5月5日（二）～7日（四）
●时间 ：10:00～17:00 (7日到16:00结束)
●地点 ：Malaysia International Trade and Exhibition Centre(MITEC)（马来西亚）
●展览号 ：1386
●入场登陆：入场登陆

出展品

支持半导体市场的精密系统元件

●有助于对气体和不活性气体进行超精密控制的工艺气体控制系统
●实现对化学液体、纯水、研磨液超洁净控制的WET FINE系统
●可提高腔室等的排气和压力控制精度的高真空控制元件

• 高温・高耐久气控阀 AGD系列
• 化学液体用气控阀 AMD※※3R系列
• 高真空用气控阀 AVB系列

还备有中、后工序对应产品

●有助于实现自动化需求的丰富电动元件

• 控制器内置型电动执行器 带导杆型　LRXG-STG系列
• 控制器内置型电动执行器 滑块型　LRXE-BS系列
• 多轴控制器 ECMG系列
• 电动执行器 带导杆型　DSTS系列

　　　　

• τDISC 标准类型 ND-s系列

●以独创的活性炭过滤器实现99%以上的去除性能

• 硅氧烷・臭氧去除器　SFX系列

●从压缩空气便捷制取氮气

• 氮气制作单元 NS・NSU系列

●可实现细小部件的精密定位、负荷控制

• 高高精度球面仿形空气静压轴承 空气陀螺【特殊规格产品】 LBC-R系列

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