SEMICON Korea 2026
●日期 ：2025年2月11日（三）～2月13日（五）
●时间 ：10：00～17：00（2日到16:00结束）
●会場 ：Coex（韓国・首尔）
●展览号 ：C316
●入场登陆：入场登陆（仅有英语）

出展商品

支持半导体市场的精密系统元件

●气体控制
有助于对气体和不活性气体进行超精密控制的工艺气体控制系统

• 高温・高耐久气控阀 AGD系列
• 工艺气体用减压阀 PGM系列
• 集成化供气系统 IAGD系列

●化学控制
实现对化学液体、纯水、研磨液超洁净控制的WET FINE系统

• 化学液体用气控阀 AMD※※3R系列
• 化学液体用气控阀（集成） GAMD※※3R系列
• 化学液体用气控阀 无金属型 AMD※1M系列
• 化学液体用手动阀 MMD※03RN系列
• 先导式减压阀 PMP系列
• 电动流量调节阀 MNV系列
• 数字显示式精致液位开关 KML系列

●真空控制
可提高腔室等的排气和压力控制精度的高真空控制元件

• 高真空用气控阀 AVB系列
• 高真空用手动阀 MVB系列

●还备有电动、气动元件等后工序对应产品

• 高精度球面仿形空气静压轴承 空气陀螺【特殊规格产品】 系列
• 电动执行器　ECV系列
• 氮气制作单元 NS・NSU系列
• τDISC 标准类型 ND-s系列
• 直动式3通阀 3QR・3QB・3QE・3QZ系列
• 带速度控制阀方向控制阀【特殊规格产品】 MN3/4E0・MN3/4E00系列

工作环境的改善

●使用紧凑的平衡吊减轻作业人员手臂和手臂的负担　　

• 紧凑型机械臂 CAW系列

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