具有高精度压力控制、压力降小且稳定的流量特性，尺寸紧凑的同时，溢流流量大。
P70：排气处理

行业

可在洁净室内使用的禁油规格的小型减压阀。
P80：禁油处理
P90：禁油处理，排气处理，使用不锈钢制
P94：禁油处理，使用不锈钢，铜、硅、卤素系材料使用限制

行业

采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。
P90：禁油处理，使用不锈钢

行业

该单元节省配管时间，实现了紧凑化，可在全禁油规格下供给洁净气体。

行业

压力显示范围(0.2MPa～2.0MPa)选择丰富的通用压力表。还备有洁净规格。
P70：黄铜（镀镍），禁油・禁水、一般环境组装・清洁包装
P90：不锈钢，禁油・禁水、洁净室内组装・洁净包装
P94：不锈钢（铜、硅、卤素系…

行业

最适于空气过滤器的寿命管理。差压测量范围为0～0.2MPa±2.5％F.S.。

行业

省配线、小巧紧凑的薄型电空减压阀。
最适合半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。
P70：排气处理

行业

是采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，实现高精度、高响应的电空减压阀。
P70：排气处理

行业

□30mm的紧凑型单色显示压力开关。不锈钢膜片选择项（PPD3-S）可进行包含冷凝水等水分的压缩空气的压力测量。
P70：发尘对策
P74(接单生产品) ：发尘对策，铜、硅、卤素系材料使用限制
P80：禁油处理
P8…

行业

15mm宽的小型压力开关。采用微调电容器设定方式的小型形状和3种配管连接（R1/8、φ6螺堵、φ6快插接头）及防尘、防水结构，使用方式灵活自如。
P70：发尘对策
P80：禁油处理

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