除尘用5μｍ滤芯和除焦油用0.3μｍ的滤芯系列化。
P70：发尘对策
P74：发尘对策、铜、硅、卤素系材料使用限制（接单生产品）

行业

有效去除气动回路的油份和油雾。
P70：发尘对策
P74：发尘对策、铜、硅、卤素系材料使用限制（接单生产品）

行业

二次侧油份浓度0.001mg/㎥，最适用于光学式定位装置及激光加工机等光学装置。
P70：发尘对策
P74：发尘对策、铜、硅、卤素系材料使用限制（接单生产品）

行业

可实现洁净室内的直接排气。采用中空丝膜结构，能以较高的精度对空压回路内使用的排出空气进行净化的划时代过滤器•洁净排气过滤器。

行业

滤芯采用中空丝膜，在过滤性能、流量、压力损失、寿命、空间等所有方面都具有高能力的管路直接型洁净过滤器。
P90：禁油处理、使用不锈钢
P94：禁油处理、使用不锈钢、铜、硅、卤素系材料使用限制

行业

具有高精度压力控制、压力降小且稳定的流量特性，尺寸紧凑的同时，溢流流量大。
P70：排气处理

行业

可在洁净室内使用的禁油规格的小型减压阀。
P80：禁油处理
P90：禁油处理，排气处理，使用不锈钢制
P94：禁油处理，使用不锈钢，铜、硅、卤素系材料使用限制

行业

采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。
P90：禁油处理，使用不锈钢

行业

该单元节省配管时间，实现了紧凑化，可在全禁油规格下供给洁净气体。

行业

压力显示范围(0.2MPa～2.0MPa)选择丰富的通用压力表。还备有洁净规格。
P70：黄铜（镀镍），禁油・禁水、一般环境组装・清洁包装
P90：不锈钢，禁油・禁水、洁净室内组装・洁净包装
P94：不锈钢（铜、硅、卤素系…

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