是采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，实现高精度、高响应的电空减压阀。
P70：排气处理

行业

□30mm的紧凑型单色显示压力开关。不锈钢膜片选择项（PPD3-S）可进行包含冷凝水等水分的压缩空气的压力测量。
P70：发尘对策
P74(接单生产品) ：发尘对策，铜、硅、卤素系材料使用限制
P80：禁油处理
P8…

行业

15mm宽的小型压力开关。采用微调电容器设定方式的小型形状和3种配管连接（R1/8、φ6螺堵、φ6快插接头）及防尘、防水结构，使用方式灵活自如。
P70：发尘对策
P80：禁油处理

行业

【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。

P70 : 防止发尘
P80 : 禁油处理

行业

• 半导体制造工序（后工序）

【停产产品】
代替产品：FSM3系列
※分离显示器FSM2-D系列还销售中。

双画面双色显示气体用小型流量传感器。备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。
P70：发尘对策
P80：禁油处理

行业

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。
内容积较小，因此不妨碍吸附确认时的高速响应。
P70：发尘对策

行业

荣获2016年度优秀设计奖。可进行流量的刻度管理，有助于实现气缸速度的定量化。采用具有线性流量特性的旋转针阀。针阀的固定采用推动锁定方式。可从正反两面目测刻度盘显示，任何人都能轻松地进行调整。
P70：发尘对策
P74：发尘对策…

行业

弯管型调速阀，带快插接头。对配管螺纹部涂抹了密封剂。
P70：发尘对策
P74：发尘对策，铜、硅、卤素系材料使用限制

行业

便于进行执行部的远程、集中控制的直管型。
SCL2系列为便于进行执行部的远程、集中控制的串联型调速阀。
SCD2系列可控制进气、排气两个方向的流量，为进气节流、排气节流一体型的调速阀。可根据回路状况，进行执行部的飞出防止、速度稳…

行业

弯管型调速阀，可进行气口直接连接。对配管螺纹部涂抹了密封剂。
P70：发尘对策
P74：发尘对策，铜、硅、卤素系材料使用限制

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