是采用基于半导体压力传感器与电子控制回路的反馈控制，实现高精度、高响应的电空减压阀。
P70：排气处理

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省配线、小巧紧凑的薄型电空减压阀。
最适合半导体、精密领域的各种按压控制、微速气缸控制。
P70：排气处理

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最适于空气过滤器的寿命管理。差压测量范围为0～0.2MPa±2.5％F.S.。

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压力显示范围(0.2MPa～2.0MPa)选择丰富的通用压力表。还备有洁净规格。
P70：黄铜（镀镍），禁油・禁水、一般环境组装・清洁包装
P90：不锈钢，禁油・禁水、洁净室内组装・洁净包装
P94：不锈钢（铜、硅、卤素系…

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该单元节省配管时间，实现了紧凑化，可在全禁油规格下供给洁净气体。

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采用禁油规格•不锈钢阀体，最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外，由于紧凑•大流量，因此适合空气（N2）吹气。
P90：禁油处理，使用不锈钢

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可在洁净室内使用的禁油规格的小型减压阀。
P80：禁油处理
P90：禁油处理，排气处理，使用不锈钢制
P94：禁油处理，使用不锈钢，铜、硅、卤素系材料使用限制

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压力表嵌入型，结构紧凑，无需工具即可调整压力。
P70：排气处理
P74：排气处理、铜、硅、卤素系材料使用限制

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具有高精度压力控制、压力降小且稳定的流量特性，尺寸紧凑的同时，溢流流量大。
P70：排气处理

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滤芯采用中空丝膜，在过滤性能、流量、压力损失、寿命、空间等所有方面都具有高能力的管路直接型洁净过滤器。
P90：禁油处理、使用不锈钢
P94：禁油处理、使用不锈钢、铜、硅、卤素系材料使用限制

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