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带线性导轨气缸

洁净室用P5※ / P7※系列 线性滑台气缸

型号
LCG

洁净元件用 P5※ / P7※系列

装载了注重高精度、高刚性的宽幅导轨。设计自由度高的左右对称构造。选择项产品种类丰富的带线性导轨气缸。
P72:排气处理
P73:真空扫引

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带线性导轨气缸

洁净室用P5※ / P7※系列 线性滑台气缸

型号
LCX

洁净元件用 P5※ / P7※系列

具有薄型、轻量、刚性3大特点的线性滑台气缸。最适用于狭窄空间。
P72:排气处理
P73:真空扫引

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带线性导轨气缸

洁净室用P5※ / P7※系列 线性滑台气缸

型号
LCM

洁净元件用 P5※ / P7※系列

极限小型化规格,兼具高精度和高刚性的线性滑台气缸。
P73:真空扫引

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无杆型气缸

洁净室用P5※ / P7※系列 磁耦式超级无杆型气缸

型号
MRL2

洁净元件用 P5※ / P7※系列

采用新润滑机构,寿命和动作稳定性大幅提高的磁耦式无杆型气缸。
P72:低发尘
P52:低发尘,铜、硅、卤素系材料使用限制

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摆动•旋转型气缸

洁净室用P5※ / P7※系列 超级叶片式摆动气缸

型号
GRC

洁净元件用 P5※ / P7※系列

实现小型、轻量、大扭矩,空气泄漏少的叶片型摆动气缸。
P73:真空扫引
P53:真空扫引,铜、硅、卤素系材料使用限制

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气缸开关

洁净室用P5※ / P7※系列 气缸开关

型号
SW-F

洁净元件用 P5※ / P7※系列

小型气缸开关。

【适用气缸】
MDC2, SSD2, STM, LCR, LCG, LCM

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气缸开关

洁净室用P5※ / P7※系列 气缸开关

型号
SW-K

洁净元件用 P5※ / P7※系列

小型气缸开关。
【适用气缸】
SMG, STR2

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气缸开关

洁净室用P5※ / P7※系列 气缸开关

型号
SW-T

洁净元件用 P5※ / P7※系列

可搭载于多种气缸的通用气缸开关。
【适用气缸】
标准型:SCPD3, SCM, SSD2, STM, STG, MRL2, LCR, LCG, LCX, GRC
交流磁场用:STG, SSD2, SCM

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先导式3・4・5通电磁阀

洁净室用P5※ / P7※系列 先导式3・5通阀

型号
4GA/BR・M4GA/BR・MN4GA/BR

洁净元件用 P5※ / P7※系列

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀高功能型。
【适用缸径:Φ20~Φ100】
P70:排气处理

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先导式3・4・5通电磁阀

洁净室用P5※ / P7※系列 PLC对应型模块集成阀

型号
MN3E・MN4E

洁净元件用 P5※ / P7※系列

采用盒式设计,是进一步实现了小型化(高39.5mm)的高性能3・4通模块集成阀。
【适用缸径:Φ20~Φ40】
P70:排气处理

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