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F.R.L组合

洁净室用P5※ / P7※系列 配管适配器

型号
A400・A800・A401・A801-P7

洁净元件用 P5※ / P7※系列

直线型在维护时无需拆卸配管,可以只拆卸元件本身。
L型可以对元件的IN、OUT气口从上、下方向进行配管。
P70:发尘对策

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F.R.L组合

洁净室用P5※ / P7※系列 支撑件・连接件组件

型号
B※10-P70・C※000-J※00-P70

洁净元件用 P5※ / P7※系列

F.R.L安装用附件。
P70:发尘对策

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过滤器

洁净室用P5※ / P7※系列 空气过滤器

型号
F※000-P7

洁净元件用 P5※ / P7※系列

除尘用5μm滤芯和除焦油用0.3μm的滤芯系列化。
P70:发尘对策
P74:发尘对策、铜、硅、卤素系材料使用限制(接单生产品)

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过滤器

洁净室用P5※ / P7※系列 精密过滤器

型号
M※000-P7

洁净元件用 P5※ / P7※系列

有效去除气动回路的油份和油雾。
P70:发尘对策
P74:发尘对策、铜、硅、卤素系材料使用限制(接单生产品)

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过滤器

洁净室用P5※ / P7※系列 高性能精密过滤器

型号
MX※000-P7

洁净元件用 P5※ / P7※系列

二次侧油份浓度0.001mg/㎥,最适用于光学式定位装置及激光加工机等光学装置。
P70:发尘对策
P74:发尘对策、铜、硅、卤素系材料使用限制(接单生产品)

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过滤器

洁净室用P5※ / P7※系列 洁净排气过滤器

型号
FAC

洁净元件用 P5※ / P7※系列

可实现洁净室内的直接排气。采用中空丝膜结构,能以较高的精度对空压回路内使用的排出空气进行净化的划时代过滤器•洁净排气过滤器。

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过滤器

洁净室用P5※ / P7※系列 管路直接型洁净过滤器

型号
FCS

洁净元件用 P5※ / P7※系列

滤芯采用中空丝膜,在过滤性能、流量、压力损失、寿命、空间等所有方面都具有高能力的管路直接型洁净过滤器。
P90:禁油处理、使用不锈钢
P94:禁油处理、使用不锈钢、铜、硅、卤素系材料使用限制

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减压阀

洁净室用P5※ / P7※系列 精密减压阀

型号
RP1000・RP2000

洁净元件用 P5※ / P7※系列

具有高精度压力控制、压力降小且稳定的流量特性,尺寸紧凑的同时,溢流流量大。
P70:排气处理

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减压阀

洁净室用P5※ / P7※系列 净化减压阀

型号
2619

洁净元件用 P5※ / P7※系列

可在洁净室内使用的禁油规格的小型减压阀。
P80:禁油处理
P90:禁油处理,排气处理,使用不锈钢制
P94:禁油处理,使用不锈钢,铜、硅、卤素系材料使用限制

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减压阀

洁净室用P5※ / P7※系列 净化减压阀

型号
RC2000

洁净元件用 P5※ / P7※系列

采用禁油规格•不锈钢阀体,最适合半导体制造装置或液晶制造装置使用的清洁空气、N2的压力控制。另外,由于紧凑•大流量,因此适合空气(N2)吹气。
P90:禁油处理,使用不锈钢

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