小型直动3通阀。
适用于连续通电、自保持、省配线的特殊规格产品。
（3种产品刊载在1个产品页上。）

【适用缸径：Φ6~Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器

底部配管规格的集成电磁阀。适用于安装在食品机械、水处理工厂、半导体制造装置等节省空间的控制柜中。通过与密封垫*1组合，可在要求防滴性的控制柜中实现空气和电气的分离设置。*1 可从本公司购买。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

可根据电流成比例进行流量控制的比例电磁阀。
10mm宽的超小型、静音设计。可有效节省装置的空间。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

薄型、轻量化电动执行器。
有助于促进装置的小型化、轻量化。
本体颜色为黑色，减少图像检查时的光反射。

行业

• 检查
• 移载
• 安装
• 搬运
• 半导体制造工序（后工序）

可自行更换机器人前端工具。最小可搬送1kg～最大可搬送300kg，备有11种尺寸，适用于小型到大型的不同种类机器人。
【备有11种尺寸】可搬送重量(kg)1、3、7、12、25、45、60、120、180、230、300

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

提高了滑动部位的耐磨损性和滑动性，大幅度延长了寿命，实现了稳定的响应。
【适用缸径：～Φ40】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3通阀。高功能型。
【适用缸径：Φ20～Φ100】

行业

• 组装
• 半导体制造工序（后工序）

高精度检测纯水、酸、碱、溶剂等多种流体的液位，以电信号的形式输出。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件