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半导体制造工序

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从半导体元件制造设备至生产工艺装置,分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上,还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。

气控阀

化学液体用气控阀

型号
AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R

化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学液体供给设备用元件
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气控阀

化学液体用气控阀

型号
AMD※※2・AMG※※2・GAMD※※2・GAMD0※2A

部分衍生系列销售中止

化学液体用气控阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。
集成阀也备有两种可选。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
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气控阀

高压用化学液体用气控阀

型号
AMD※1H

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀,可耐受高压、高背压。

行业
  • 化学液体供给设备用元件
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气控阀

化学液体用气控阀 无金属型

型号
AMD※1M

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀,可用于强酸(盐酸、氢氟酸、硝酸)管路。

行业
  • 化学液体供给设备用元件
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手动阀

化学液体用手动阀

型号
MMD※※2・GMMD※※2

化学液体用手动阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学液体供给设备用元件
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手动阀

给液用化学液体手动阀

型号
MMD※0H

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀,可耐受高压、高背压。

行业
  • 化学液体供给设备用元件
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手动阀

化学液体用手动阀 无金属型

型号
MMD※0M

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀,可用于强酸(盐酸、氢氟酸、硝酸)管路。

行业
  • 化学液体供给设备用元件
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回吸阀

气控阀・回吸阀一体型

型号
AMDS

以紧凑的结构确保滴液,可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品,可削减配管工时并实现紧凑化。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
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气控阀

化学液体用气控阀

型号
AMD※※・AMG※※

部分衍生系列销售中止

基础型化学液体用气控阀。
备有各种基础型接头。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
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减压阀

手动式减压阀

型号
PYM・PMM

部分衍生系列销售中止

用于纯水等的压力控制的手动式减压阀。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
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