产品列表
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- 半导体制造工序
从半导体元件制造设备至生产工艺装置,分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上,还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。
气控阀
化学液体用气控阀
- 型号
- AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3R
气控阀
化学液体用气控阀
- 型号
- AMD※※2・AMG※※2・GAMD※※2・GAMD0※2A
部分衍生系列销售中止
气控阀
高压用化学液体用气控阀
- 型号
- AMD※1H
气控阀
化学液体用气控阀 无金属型
- 型号
- AMD※1M
手动阀
化学液体用手动阀
- 型号
- MMD※※2・GMMD※※2
手动阀
给液用化学液体手动阀
- 型号
- MMD※0H
手动阀
化学液体用手动阀 无金属型
- 型号
- MMD※0M
回吸阀
气控阀・回吸阀一体型
- 型号
- AMDS
以紧凑的结构确保滴液,可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品,可削减配管工时并实现紧凑化。
- 行业
- 半导体制造工序(前工序)

气控阀
化学液体用气控阀
- 型号
- AMD※※・AMG※※
部分衍生系列销售中止
减压阀
手动式减压阀
- 型号
- PYM・PMM
部分衍生系列销售中止
- 搜索条件
- 型号
- 商品类别
- 所有
- 特定用途
- 所有
- 行业
- 半导体制造工序
- 所有
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