产品列表
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- 半导体制造工序
从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。
高真空用元件
高真空用手动阀
- 型号
- MVB
集成化供气系统
集成化供气系统
- 型号
- IAGD5
集成化供气系统
集成化供气系统
- 型号
- IAGD4
集成化供气系统
集成化供气系统
- 型号
- IAGD3
集成化供气系统
洁净面板
- 型号
- FICS
高精度型
τDISC 大中空径型
- 型号
- FD-s
高精度型
τDISC 高刚性型
- 型号
- DD-s
流量传感器・控制器
洁净室用P5※・P7※系列 小型流量传感器 RAPIFLOW®
- 型号
- FSM3-P70・FSM3-P80
NEW
洁净元件用 P5※ / P7※系列
【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。
P70 : 防止发尘
P80 : 禁油处理
- 行业
- 半导体制造工序（后工序）
高真空用元件
电动真空阀
- 型号
- EVB
2021年03月31日销售中止
流量传感器・控制器
压缩空气用流量传感器（显示一体型 FLUEREX）
- 型号
- PF・PFU
2019年03月31日销售中止
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