节能型真空排气装置。工艺气体排气用真空发生器。
喷嘴直径：Φ0.5

行业

• 化学气体供给设备用元件

CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。
通过供气的高精度压力/流量调整，实现稳定的工艺控制。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应，最适合电子部件等的吸附确认。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化，进行必要流量控制的设备。

行业

• 保护气体
• 氮气清洗关联元件
• 理化分析设备

是显示分离型压缩空气用流量传感器。
最适合大流量测量。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。最适于元件内置的紧凑型简单设计。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）
• 理化分析设备

是□30mm的小型双画面、3色显示压力传感器。
具备可同时确认压力的〔当前值〕和〔设定值〕的双画面显示、3色显示、设定内容复制功能、3种模式设定等使用便捷性和高功能的数字显示式压力传感器。
通过IO-Link的对应有助于设备的I…

行业

• 半导体制造工序（后工序）

□31mm的紧凑型单画面双色显示压力开关。符合防护等级IP65。（配管形式：增加了内螺纹）

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

按压锁定型小型真空减压阀。

行业

• 搬运
• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 半导体制造工序（后工序）

吸附面采用了氟树脂多孔材料的高精度吸盘。

行业

• 半导体制造工序（后工序）