采用盒式设计，是进一步实现了小型化（高39.5mm）的高性能3・4通模块集成阀。
【适用缸径：Φ20～Φ40】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀的气控阀。
【适用缸径：Φ20～100】

行业

• 组装
• 气源供给装置
• 精制水生产
• 调整
• 过滤
• 制袋（输液袋）
• 填充
• 杀菌（高压灭菌器）
• 包装
• 压片
• 培养
• 分装
• 灭菌装置
• 理化分析设备
• 半导体制造工序（后工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

是小型、高性能电空减压阀，配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 特殊用途、搬送

【NEW】追加种类
本品是30mm宽的小型、轻量、高性能电空减压阀。最适合半导体、精密贴装领域的先导减压阀的控制、各种按压控制、微速气缸控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可用于强酸(盐酸、氢氟酸、硝酸)管路。

行业

• 化学液体供给设备用元件

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可耐受高压、高背压。

行业

• 化学液体供给设备用元件

化学液体用手动阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

手动式流量调节阀(针阀)。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

电动式流量调节阀(针阀)。
可通过远程操作变更设定流量

行业

• 半导体制造工序（前工序）

高精度检测纯水、酸、碱、溶剂等多种流体的液位，以电信号的形式输出。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件