每1连阀上配备2个3通阀，减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
【适用缸径：Φ4～Φ16】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应，最适合电子部件等的吸附确认。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。最适于元件内置的紧凑型简单设计。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）
• 理化分析设备

是显示分离型压缩空气用流量传感器。
最适合大流量测量。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

将空气流量的测量仪器实现组件化。在现场即可进行流量测量。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。
小型、轻量，尤其实现了高度尺寸的紧凑化。
【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5

行业

• 半导体制造工序（后工序）

吸附面采用了氟树脂多孔材料的高精度吸盘。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

化学液体用气控阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。
集成阀也备有两种可选。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可耐受高压、高背压。

行业

• 化学液体供给设备用元件