彻底轻量化，设计自由度高的左右对称构造。选择项产品种类丰富的高刚性带线性导轨气缸。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 组装

装载了注重高精度、高刚性的宽幅导轨。设计自由度高的左右对称构造。选择项产品种类丰富的带线性导轨气缸。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 组装

采用非接触空气轴承机构的滑动零阻力的空气静压式柔性执行部。通过与电空减压阀（EV)的组合，实现细致精密的负荷控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀的气控阀。
【适用缸径：Φ20～100】

行业

• 组装
• 气源供给装置
• 精制水生产
• 调整
• 过滤
• 制袋（输液袋）
• 填充
• 杀菌（高压灭菌器）
• 包装
• 压片
• 培养
• 分装
• 灭菌装置
• 理化分析设备
• 半导体制造工序（后工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

每1连阀上配备2个3通阀，减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
【适用缸径：Φ4～Φ16】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应，最适合电子部件等的吸附确认。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。最适于元件内置的紧凑型简单设计。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）
• 理化分析设备

是显示分离型压缩空气用流量传感器。
最适合大流量测量。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

实现高速且稳定响应性的小型发生器单元。
小型、轻量，尤其实现了高度尺寸的紧凑化。
【喷嘴直径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸入流量(L/min(ANR))】2～9.5

行业

• 半导体制造工序（后工序）

吸附面采用了氟树脂多孔材料的高精度吸盘。

行业

• 半导体制造工序（后工序）