按压锁定型小型真空减压阀。

行业

• 搬运
• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 半导体制造工序（后工序）

【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。

行业

• 保护气体
• 半导体制造工序（后工序）
• 氮气清洗关联元件

是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化，进行必要流量控制的设备。

行业

• 保护气体
• 氮气清洗关联元件
• 理化分析设备

采用盒式设计，是进一步实现了小型化（高39.5mm）的高性能3・4通模块集成阀。
【适用缸径：Φ20～Φ40】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

可通过先导空气控制，使化学液体、纯水供给部位的压力变化趋于稳定的减压阀。与电空减压阀组合，可通过远程操作变更设定压力。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

是小型、高性能电空减压阀，配备有压力显示、错误显示功能、直接记忆功能等方便的功能。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 特殊用途、搬送

□31mm的紧凑型单画面双色显示压力开关。符合防护等级IP65。（配管形式：增加了内螺纹）

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

是□30mm的小型双画面、3色显示压力传感器。
具备可同时确认压力的〔当前值〕和〔设定值〕的双画面显示、3色显示、设定内容复制功能、3种模式设定等使用便捷性和高功能的数字显示式压力传感器。
通过IO-Link的对应有助于设备的I…

行业

• 半导体制造工序（后工序）

可应对小型3通阀的各种用途。（气控阀・气缸驱动、吸附搬送、
吹气等）　
有正压专用3QE・3QZ系列、正负压用3QB系列、正负压用大流量3QR系列。
【适用缸径：Φ6～Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器
• 透析监视装置
• 牙科医疗设备

标配客户常用的规格的线性滑台气缸的基本型。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 组装