省配線、薄形形状のコンパクトな電空レギュレータです。
半導体・精密分野の各種押圧コントロール・微速シリンダ制御に最適です。

業種

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御を採用し、電気信号により、空気圧を連続的かつ、高精度にコントロールできる電空レギュレータです。

業種

• センサ

今まで出来なかった50kPa以下での比例制御を0kPaから高精度にコントロール可能な電空レギュレータです。

業種

圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 特殊用途・搬送

半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御により、高精度・高応答な電空レギュレータです。

業種

【NEW】バリエーション追加。
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

多種流体に対応した防爆形電磁弁です。耐圧防爆構造　d2G2に適合しており、防爆エリアでの使用が可能です。クラス180（H）耐熱コイルを搭載しており蒸気で使用できます。
従来の日本認証（TIIS）に加え、中国GB規格認証(NEPSI）及…

業種

多種流体に対応した防爆形電磁弁です。耐圧防爆構造　d2G4に適合しており、防爆エリアでの使用が可能です。
従来の日本認証（TIIS）に加え、中国GB規格認証(NEPSI）及び中国強制製品認証制度（CCC）に対応可能です。

業種

多種流体に対応した防爆形電磁弁です。国際規格（IEC）整合指針適合品でExdⅡBT2の認証を取得しており、防爆エリアでの使用が可能です。クラス180（H）耐熱コイルを搭載しており蒸気で使用できます。

業種

多種流体に対応した防爆形電磁弁です。国際規格（IEC）整合指針適合品でExdⅡBT4の認証を取得しており、防爆エリアでの使用が可能です。

業種