【NEW】使用流体に水素ガス対応オプションを追加、水素ガスでの使用を保証します。水素ガスライン識別のため、ボンネット等に専用色（赤色）とし、水素銘板を貼り付けます。
中間圧までをカバーするスローオープンタイプのガス遮断弁です。
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業種

• 工業炉
• ボイラ
• 冷温水器
• メタネーション設備
• 水素精製設備

【NEW】使用流体に水素ガス対応オプションを追加、水素ガスでの使用を保証します。水素ガスライン識別のため、ボンネット等に専用色（赤色）とし、水素銘板を貼り付けます。
中間圧までをカバーするクイックオープンタイプのガス遮断弁です。

業種

• 工業炉
• ボイラ
• 冷温水器
• メタネーション設備
• 水素精製設備

純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

速度制御弁を電磁弁側に一体化させたマニホールド電磁弁です。
シリンダなどのアクチュエータに取付スペースがない場合でも、電磁弁側で速度制御が可能です。

業種

LOTO機能付きインストップ弁スペーサです。装置メンテナンス時、作業者がバルブの出力状態を変更するためインストップ弁を操作する事があります。別の作業者が、意図せず操作中のインストップ弁を元に戻せないように鍵をかけ、出力状態をロックできる鍵穴…

業種

3方爪チャックにLVDTセンサを内蔵させた、測長機能付き3方爪チャックです。
ワークの微小な寸法判定だけではなく、把持爪や冶具の変形などの出力変化を監視することにより装置のメンテナンス時期の予知も可能です。

業種

薄形・軽量タイプの電動アクチュエータです。
装置の小形化・軽量化に貢献します。
本体色が黒色の為、画像検査時の光による反射を低減します。

業種

• 検査
• ハンドリング
• 実装
• 搬送
• 半導体製造工程（後工程）

10.5ｍｍ幅のコンパクトボディで、多連で使用しても設置がコンパクトな真空切換ユニットです。
【真空弁有効断面積】
2方弁仕様：3.5, 4.5　(㎟)
3方弁仕様：3.0, 3.6　(㎟)
FP1：流路部・摺動部の…

業種

10.5ｍｍ幅のコンパクトボディで、多連で使用しても設置がコンパクトな真空エジェクタユニットです。
【ノズル径】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸込み流量】3~26　(L/min(ANR))
FP1：流路部・摺動部の…

業種

小形・軽量・省スペースのインラインタイプのフィルタです。

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。

業種