商品一覧

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半導体製造工程
半導体製造工程(後工程)

デジタルカタログ

半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

わかば商品

電動アクチュエータ モータレス仕様 スライダタイプ【特別仕様品】

形番
EFS

NEW

薄形・軽量タイプの電動アクチュエータです。
装置の小形化・軽量化に貢献します。
本体色が黒色の為、画像検査時の光による反射を低減します。

資料・ダウンロード「2DCAD」より3DCADデータをダウンロードいただけま…

業種
  • 検査
  • ハンドリング
  • 実装
  • 搬送
  • 半導体製造工程(後工程)
資料・ダウンロード

カタログPDF

2D CAD

CKD plus 会員限定

ツールチェンジャー

オートツールチェンジャー

形番
KHBC

NEW

ロボット先端ツールをロボット自身で自動交換できます。最小1kg可搬~最大300kg可搬、全11サイズのバリエーションで小形から大形、様々なサイズのロボットに対応します。
【サイズ全11種類】可搬質量(kg) 1、3、7、12、25、4…

業種
  • ハンドリング
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 搬送
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カタログPDF

安全上の注意

取扱説明書

2D CAD

3D CAD

CKD plus 会員限定

パイロット式3ポート弁

パイロット式3ポート弁

形番
3KA1

摺動部の耐摩耗性と摺動性を向上させ、大幅な寿命アップと応答性の安定化を実現しました。
【適応シリンダ径:~Φ40】

業種
  • 組立
  • 半導体製造工程(後工程)

パイロット式3ポート弁

パイロット式3ポート弁

形番
3GD/ER

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径:Φ20~Φ100】

業種
  • 組立
  • 半導体製造工程(後工程)

パイロット式3ポート弁

パイロット式3ポート弁

形番
3GA/BR

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径:Φ20~Φ100】

業種
  • 組立
  • 半導体製造工程(後工程)

わかば商品

アブソデックス 防水・防塵タイプ【特別仕様品】

形番
AX8R

NEW

水滴や粉塵の多い環境下での回転位置決めに最適なアクチュエータです。
保護等級は、IP65相当を実現しました。
新型コントローラ対応で立上げ時間を60%削減しています。

業種
  • 組立
  • 検査
  • 実装
  • 歯科医療装置
  • 半導体製造工程(後工程)
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カタログPDF

ソフトウェア

CKD plus 会員限定

汎用タイプ

アブソデックス(ABSODEX)

形番
AX1R・AX2R・AX4R・AXD

NEW

軸受けやブラケット等を別途設置する必要なく負荷をダイレクトに取り付けるだけで精度よく位置決めができる回転アクチュエータです。
簡単にインデックステーブルの装置を作ることができるので、設計工数と組立工数を削減し、生産設備のシンプル化と生…

業種
  • 組立
  • 検査
  • 半導体製造工程(後工程)

パイロット式3・4・5ポート電磁弁 

パイロット式3・5ポート弁

形番
4GA/BR・M4GA/BR・MN4GA/BR

NEW

【NEW】AC200V対応オプションを追加しました。
対応通信拡大しました。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径:Φ20~Φ100】

業種
  • 組立
  • 空気圧サプライ
  • 精製水製造
  • 調整
  • 濾過
  • 製袋(輸液バックの場合)
  • 充填
  • 滅菌(オートクレーブ)
  • 包装
  • 打錠
  • 培養
  • 分取
  • 滅菌装置
  • 理化学分析装置
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器

フィルタ

シロキサン・オゾンリムーバ

形番
SFX

シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。
99%の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 実装

電空レギュレータ

パレクト電空レギュレータ

形番
EVS2

【NEW】バリエーション追加。
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)