軸受けやブラケット等を別途設置する必要なく負荷をダイレクトに取り付けるだけで精度よく位置決めができる回転アクチュエータです。
簡単にインデックステーブルの装置を作ることができるので、設計工数と組立工数を削減し、生産設備のシンプル化と生…

業種

• 組立
• 検査
• 半導体製造工程（後工程）

【NEW】AC200V対応オプションを追加しました。
対応通信拡大しました。

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 空気圧サプライ
• 精製水製造
• 調整
• 濾過
• 製袋(輸液バックの場合)
• 充填
• 滅菌(オートクレーブ)
• 包装
• 打錠
• 培養
• 分取
• 滅菌装置
• 理化学分析装置
• 半導体製造工程（後工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。
99％の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 実装

【NEW】バリエーション追加。
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。

業種

• 搬送
• 組立
• ハンドリング
• 検査
• 実装
• 半導体製造工程（後工程）

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

• シールドガス
• 半導体製造工程（後工程）
• N2パージ関連機器

圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 特殊用途・搬送

□31mmのコンパクトな1画面2色表示圧力スイッチです。保護構造IP65に対応しています。（配管接続：めねじ追加しました）

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。
圧力の（現在値）と（設定値）を同時に確認できる２画面表示や、3色表示、設定内容コピー機能、3つのモード設定など使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサです。
IO-…

業種

• 半導体製造工程（後工程）

小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。（エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど）
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径：Φ…

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器
• 透析監視装置
• 歯科医療装置