ハイブリッドな回転継手によるロボットハンドリングの新常識。回転するロボット先端へ内部を通してエアと電気を供給し、配管・配線の絡みをゼロにします。
【サイズ全4種類】可搬質量（kg）　1、5、7、25

業種

• ハンドリング
• 半導体製造工程（後工程）
• 搬送

低摺動な自動調芯装置。ロボットとハンドチャックの間にクイックアジャスタ slimを搭載し、ロボットハンドの芯ずれによる設備停止を防止します。職人技のティーチングなしで、高精度な組立、挿入、圧入工程を実現します。
【サイズ全5種類】可搬…

業種

• ハンドリング
• 半導体製造工程（後工程）
• 搬送

小形直動3ポート弁です。連続通電、自己保持、省配線に対応する特別仕様品です。
（3種類の製品を１つの商品ページに掲載しています。）

【適応シリンダ径：Φ6~Φ20】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器

シロキサンの吸着・オゾン分解に特化したリムーバです。
99％の高い除去率で圧縮エア・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用が可能になります。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 実装

薄形・軽量タイプの電動アクチュエータです。
装置の小形化・軽量化に貢献します。
本体色が黒色の為、画像検査時の光による反射を低減します。

業種

• 検査
• ハンドリング
• 実装
• 搬送
• 半導体製造工程（後工程）

ロボット先端ツールをロボット自身で自動交換できます。最小1kg可搬～最大300kg可搬、全11サイズのバリエーションで小形から大形、様々なサイズのロボットに対応します。
【サイズ全11種類】可搬質量（kg）　1、3、7、12、25、4…

業種

• ハンドリング
• 半導体製造工程（後工程）
• 搬送

摺動部の耐摩耗性と摺動性を向上させ、大幅な寿命アップと応答性の安定化を実現しました。
【適応シリンダ径：~Φ40】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3ポート弁の高機能タイプです。
【適応シリンダ径：Φ20～Φ100】

業種

• 組立
• 半導体製造工程（後工程）

水滴や粉塵の多い環境下での回転位置決めに最適なアクチュエータです。
保護等級は、IP65相当を実現しました。
新型コントローラ対応で立上げ時間を60％削減しています。

業種

• 組立
• 検査
• 実装
• 歯科医療装置
• 半導体製造工程（後工程）