商品一覧
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- 半導体製造工程
- 半導体製造工程（後工程）
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
電空レギュレータ
パレクト電空レギュレータ
- 形番
- EVS2
【NEW】バリエーション追加。
30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
高真空用機器
真空圧力制御システム
- 形番
- IAVB
高真空用機器
高真空用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AVB
CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 半導体製造工程（後工程）
高真空用機器
高真空用マニュアルバルブ
- 形番
- MVB
一部バリエーション販売終了
ハンドル回転式の高真空用マニュアルバルブです。
アルミボディタイプとSUSボディタイプをご用意しております。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 半導体製造工程（後工程）
流量センサ・コントローラ
気体用超小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM
一部バリエーション販売終了
流量センサ・コントローラ
圧縮空気用流量センサ（表示分離形 FLUEREX）
- 形番
- PFD
流量センサ・コントローラ
カルマン渦式水用流量センサフルーレックス
- 形番
- WFK3000
空気用圧力センサ
デジタル圧力センサ
- 形番
- PPX
□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。
圧力の（現在値）と（設定値）を同時に確認できる２画面表示や、3色表示、設定内容コピー機能、3つのモード設定など使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサです。
IO-…
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
空気用圧力センサ
デジタル表示付電子式圧力スイッチ
- 形番
- PPG
□31mmのコンパクトな1画面2色表示圧力スイッチです。保護構造IP65に対応しています。（配管接続：めねじ追加しました）
- 業種
- センサ
- 半導体製造工程（後工程）
真空関連機器
小形真空レギュレータ
- 形番
- VSRVV
一部バリエーション販売終了
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