商品一覧

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半導体製造工程
半導体製造工程(後工程)

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半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

エアオペレイト式3・4・5ポート弁 

マスタバルブ

形番
4GA/BR・M4GA/BR

環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁のマスタバルブです。
【適応シリンダ径:Φ20~100】

業種
  • 組立
  • 空気圧サプライ
  • 精製水製造
  • 調整
  • 濾過
  • 製袋(輸液バックの場合)
  • 充填
  • 滅菌(オートクレーブ)
  • 包装
  • 打錠
  • 培養
  • 分取
  • 滅菌装置
  • 理化学分析装置
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • N2パージ関連機器
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電空レギュレータ

パレクト電空レギュレータ

形番
EVS2

30mm幅の小形・軽量・高性能を実現した小形電空レギュレータです。
半導体・精密実装分野におけるパイロットレギュレータの制御・各種押圧コントロール、微速シリンダの制御に最適です。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
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流量センサ・コントローラ

気体用超小形流量センサラピフロー(R)

形番
FSM

一部バリエーション販売終了

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
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流量センサ・コントローラ

カルマン渦式水用流量センサフルーレックス

形番
WFK3000

カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 理化学分析装置

流量センサ・コントローラ

カルマン渦式水用流量センサフルーレックス

形番
WFK5000・WFK6000・WFK7000

2019/12/27販売終了

【販売終了】
カルマン渦検出方式の水用流量センサです。
代替商品:カルマン渦式水用流量センサフルーレックスWFK2シリーズ

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 理化学分析装置
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