商品一覧
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- 半導体製造工程
- 半導体製造工程（後工程）
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
流量センサ・コントローラ
圧縮空気用流量センサ（表示分離形 FLUEREX）
- 形番
- PFD
エジェクタシステム
真空エジェクタユニット（10.3ｍｍ幅）
- 形番
- VSN・VSNM
高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6 (㎜)
【吸込み流量】2~9.5 (L/min(ANR))
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
吸着パッド
精密吸着プレート
- 形番
- PVP
高真空用機器
真空圧力制御システム
- 形番
- IAVB
高真空用機器
高真空用エアオペレイトバルブ
- 形番
- AVB
CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 半導体製造工程（後工程）
高真空用機器
高真空用マニュアルバルブ
- 形番
- MVB
ハンドル回転式の高真空用マニュアルバルブです。
アルミボディタイプとSUSボディタイプをご用意しております。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 半導体製造工程（後工程）
高精度タイプ
τDISC 大中空径タイプ
- 形番
- FD-s
大中空構造が、マシン設計の自由度を向上します（中空径：52mm～150mm）。
耐環境性に優れ、性能を向上させた磁気式ABSエンコーダを採用しています。
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
高精度タイプ
τDISC 高剛性タイプ
- 形番
- DD-s
剛性と精度を追求した高剛性タイプです。
モーメント剛性・アキシャル剛性・ロータねじり剛性を大幅に向上しました。
定格トルク：10～2000N･mをラインアップしています。
- 業種
- 検査
- 半導体製造工程（後工程）
流量センサ・コントローラ
クリーン機器用P5※・P7※シリーズ 小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM3-P70・FSM3-P80
NEW
クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ
【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。
P70：発塵防止
P80：禁油処理
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
高真空用機器
電動真空弁
- 形番
- EVB
2021/3/31販売終了
【販売終了品】
代替商品：IAVBシリーズ
モータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。
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