環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁のマスタバルブです。
【適応シリンダ径：Φ20~100】

業種

• 組立
• 空気圧サプライ
• 精製水製造
• 調整
• 濾過
• 製袋(輸液バックの場合)
• 充填
• 滅菌(オートクレーブ)
• 包装
• 打錠
• 培養
• 分取
• 滅菌装置
• 理化学分析装置
• 半導体製造工程（後工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）
• 理化学分析装置

表示分離型の圧縮空気用流量センサです。
大流量計測に最適です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸込み流量】2~9.5　(L/min(ANR))

業種

• 半導体製造工程（後工程）

吸着面にフッ素樹脂多孔質を採用した高精度な吸着プレートです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

ハンドル回転式の高真空用マニュアルバルブです。
アルミボディタイプとSUSボディタイプをご用意しております。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

大中空構造が、マシン設計の自由度を向上します（中空径：52mm～150mm）。
耐環境性に優れ、性能を向上させた磁気式ABSエンコーダを採用しています。

業種

• 半導体製造工程（後工程）