商品一覧
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- 半導体製造工程
- 半導体製造工程(後工程)
半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。
空気用圧力センサ
デジタル表示付電子式圧力スイッチ
- 形番
- PPG
□31mmのコンパクトな1画面2色表示圧力スイッチです。保護構造IP65に対応しています。(配管接続:めねじ追加しました)
- 業種
- センサ
- 半導体製造工程(後工程)

空気用圧力センサ
デジタル圧力センサ
- 形番
- PPX
□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。
圧力の(現在値)と(設定値)を同時に確認できる2画面表示や、3色表示、設定内容コピー機能、3つのモード設定など使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサです。
IO-…
- 業種
- 半導体製造工程(後工程)

直動式3ポート電磁弁
直動式3ポート弁
- 形番
- 3QR・3QB・3QE・3QZ
小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。(エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど)
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径:Φ…
- 業種
- 半導体製造工程(前工程)
- 半導体製造工程(後工程)
- 酸素濃縮器
- 透析監視装置
- 歯科医療装置

リニアガイド付シリンダ
リニアスライドシリンダ
- 形番
- LCW
リニアガイド付シリンダ
リニアスライドシリンダ
- 形番
- LCR
リニアガイド付シリンダ
リニアスライドシリンダ
- 形番
- LCG
高精度・高剛性を重視した幅広ガイドを搭載。設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富なリニアガイド付きシリンダです。
- 業種
- 半導体製造工程(後工程)
- 組立

特殊シリンダ
エアベアリングアクチュエータ
- 形番
- LBC
非接触エアベアリング機構を採用した摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータです。電空レギュレータ(EV)との組合せにより繊細で精密な荷重コントロールを実現します。
- 業種
- 半導体製造工程(後工程)
- 実装

エアオペレイト式3・4・5ポート弁
マスタバルブ
- 形番
- 4GA/BR・M4GA/BR
環境性能・安全性・信頼性・使いやすさが進化した3・5ポート弁のマスタバルブです。
【適応シリンダ径:Φ20~100】
- 業種
- 組立
- 空気圧サプライ
- 精製水製造
- 調整
- 濾過
- 製袋(輸液バックの場合)
- 充填
- 滅菌(オートクレーブ)
- 包装
- 打錠
- 培養
- 分取
- 滅菌装置
- 理化学分析装置
- 半導体製造工程(後工程)
- 薬液供給設備向け機器
- 薬ガス供給設備向け機器
- N2パージ関連機器

流量センサ・コントローラ
気体用超小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM
一部バリエーション販売終了
流量センサ・コントローラ
カルマン渦式水用流量センサフルーレックス
- 形番
- WFK3000
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