プッシュロックタイプの小形真空レギュレータです。

業種

• 搬送
• 組立
• ハンドリング
• 検査
• 実装
• 半導体製造工程（後工程）

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

• シールドガス
• 半導体製造工程（後工程）
• N2パージ関連機器

圧力表示やエラー表示機能・ダイレクトメモリ機能など使い易い機能が充実した、小形・高機能な電空レギュレータです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 特殊用途・搬送

□31mmのコンパクトな1画面2色表示圧力スイッチです。保護構造IP65に対応しています。（配管接続：めねじ追加しました）

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）

□30mmのコンパクトな2画面・3色表示の圧力センサです。
圧力の（現在値）と（設定値）を同時に確認できる２画面表示や、3色表示、設定内容コピー機能、3つのモード設定など使い易さと高機能を満載したデジタル圧力センサです。
IO-…

業種

• 半導体製造工程（後工程）

小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。（エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど）
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径：Φ…

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器
• 透析監視装置
• 歯科医療装置

お客様がよくお使いのスペックを標準装備したリニアスライドシリンダのベーシックモデルです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

徹底した軽量化と設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富な高剛性リニアガイド付きシリンダです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

高精度・高剛性を重視した幅広ガイドを搭載。設計自由度が高い左右対称構造。オプションバリエーション豊富なリニアガイド付きシリンダです。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 組立

非接触エアベアリング機構を採用した摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータです。電空レギュレータ（EV）との組合せにより繊細で精密な荷重コントロールを実現します。

業種

• 半導体製造工程（後工程）
• 実装