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半導体製造工程
半導体製造工程（後工程）

デジタルカタログ

半導体デバイス製造のファシリティから生産プロセス装置まで、高純度、高精度に対応できる商品を「前工程」「後工程」「薬液供給設備向け機器」「薬ガス供給設備向け機器」「N2パージ関連機器」に分けて、ご提案いたします。薬液、ガス、真空を制御するバルブやレギュレータ、制御システムなど数多く取り揃えております。ISO9001に基づく、徹底した品質管理の元、バルブ単体から、バルブやレギュレータなどを組み合わせたパネルにも対応しております。

流量センサ・コントローラ

圧縮空気用流量センサ（表示一体形 FLUEREX）

形番
PF・PFU

2019/3/31販売終了

【販売終了品】
代替商品：PFDシリーズ

エネルギー消費の現状把握と効果確認に威力を発揮する中・大流量用の圧縮空気用流量センサです。

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程（後工程）

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流量センサ・コントローラ

カルマン渦式水用流量センサフルーレックス

形番
WFK5000・WFK6000・WFK7000

2019/12/27販売終了

【販売終了品】
カルマン渦検出方式の水用流量センサです。
代替商品：カルマン渦式水用流量センサフルーレックスWFK2シリーズ

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程（後工程）
  • 理化学分析装置

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技術資料

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流量センサ・コントローラ

気体用流量センサテスタキット

形番
PFK

2022/3/31販売終了

【販売終了品】
代替商品：なし
空気流量の測定機器をキット化したものです。現場で即流量測定が可能です。

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程（後工程）

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