繊細なワークの吸着システムや検査システムなどの精密な圧力調整を必要とする回路に最適です。コンパクト・大流量・高精度の真空レギュレータです。

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。

業種

コンパクトタイプのFRユニットです。
屋外使用における耐久性を保証します。
外観部をオールメタル化。
機能部品は高耐食性部品を使用。
リリーフポート防雨、防虫対策済。

業種

高精度圧力制御・圧力降下の小さい安定した流量特性があり、コンパクトサイズながら大きなリリーフ流量タイプです。
P70：排気処理

業種

クリーンルームで使用可能な禁油仕様の小形レギュレータです。
P80：禁油処理
P90：禁油処理、ステンレス材料使用
P94：禁油処理、ステンレス材料使用、銅系不可・シリコン系不可・ハロゲン系不可

業種

禁油仕様・ステンレスボディを採用しており、半導体製造装置や液晶製造装置に使用されるクリーンエア、N２の圧力制御に最適です。また、コンパクト・大流量のため、エア（N2)ブローに適しています。
P90：ステンレス材料使用、禁油処理

業種

【販売終了品】

業種

【販売終了品】
代替商品：WRシリーズ

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