クリーンルームで使用可能な禁油仕様の小形レギュレータです。

業種

チェック弁が２次側を迅速排気します。バイパス回路不要で、配管も容易です。

業種

圧力上昇時、圧縮空気を大気放出し、設定圧力を保持します。

業種

小形タイプのレギュレータです。

標準品の他、以下のバリエーションがございます。
P11:オゾン対応品

業種

禁油仕様・ステンレスボディを採用しており、半導体製造装置や液晶製造装置に使用されるクリーンエア、N２の圧力制御に最適です。また、コンパクト・大流量のため、エア（N2)ブローに適しています。

業種

【販売終了品】
代替商品：R※※00シリーズ

業種

【販売終了品】
代替商品：RPシリーズ

業種

高精度圧力制御・圧力降下の小さい安定した流量特性があり、コンパクトサイズながら大きなリリーフ流量タイプです。

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。
P40：全部品に、銅・亜鉛…

業種

環境にやさしい新タイプの精密レギュレータです。特殊構造によりエア消費量の大幅削減を実現しました。制御性能に優れ、高精度・コンパクトのため、緻密なテンションコントロール等、各種用途にご利用できます。

P4：流路部・摺動部に、銅・…

業種

コンパクト・省スペース・逆流機能内蔵形の小形レギュレータです。

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。
P40：全部品に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制…

業種