SEMICON EUROPA 2026
●日期 ：2026年11月10日（二）～11月13日（五）
●时间 ：11：00～18：00　※仅4日（周五）至16时
●地点 ：Messe München（München, Germany）
●展览号 ：B1 B1476
●入场登陆：入场登陆

出展品

支持半导体市场的精密系统元件

●有助于对气体和不活性气体进行超精密控制的工艺气体控制系统
●实现对化学液体、纯水、研磨液超洁净控制的WET FINE系统
●可提高腔室等的排气和压力控制精度的高真空控制元件

• 工艺气体用减压阀PGM系列
• 高温・高耐久气控阀AGD系列
• 集成化供气系统IAGD系列
• 化学液体用气控阀AMD**3R系列
• 先导式减压阀PMP002系列
• 手动流量调节阀FMD系列
• 电动流量调节阀MNV系列
• 真空压力控制系统IAVB系列
• 高真空用气控阀AVB系列

还备有后工序对应产品

●可实现细小部件的精密元件定位、负荷控制

• 空气轴承LBC系列
• 高精度球面仿形空气静压轴承 空气陀螺【特殊规格产品】LBC-R系列
• 精密吸盘PVP系列

●通过单个单元即可安全体验现场的9种危险性

• 安全×危险体验单元【特殊规格产品/限定日本销售】SRE系列

●介绍CKD特有的产品，如各种过滤器等

• 氮气制取单元NS・NSU系列
• 管路直接型洁净过滤器FCS系列
• 硅氧烷・臭氧去除器SFX系列

●适用于各制造工序的冷却水管理

• 水集成单元WXU系列
• 卡曼涡街式流量传感器WFK2系列

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