SEMICON China 2026
●日期 ：2026年3月25日（水）～3月27日（金）
●时间 ：09：00～17：00 (27日到16:00结束)
●地点 ： 上海新国際博覧中心（中国, 上海）
●展览号 ：Hall N2 2631
●入场登陆 ：入场登陆

出展商品

支持半导体市场的精密系统元件

●气体控制
有助于对气体和不活性气体进行超精密控制的工艺气体控制系统

• 高温・高耐久气控阀 AGD系列
• 工艺气体用减压阀 PGM系列
• 集成化供气系统 IAGD系列

●化学控制
实现对化学液体、纯水、研磨液超洁净控制的WET FINE系统

• 化学液体用气控阀 AMD※※3R系列
• 气控阀（集成阀） GAMD※※3R系列
• 化学液体用气控阀 无金属型 AMD※1M系列
• 化学液体用手动阀 MMD※03RN系列
• 先导式减压阀 PMP系列
• 电动流量调节阀 MNV系列
• 数字显示式精致液位开关 KML系列

●真空控制
可提高腔室等的排气和压力控制精度的高真空控制元件

• 高真空用气控阀 AVB系列
• 高真空用手动阀 MVB系列

●还备有电动、气动元件等中·后工序对应产品

• τDISC 高速旋转型 ND-s HS系列
• 控制器内置型电动执行器 滑块型　LRXE-BS系列
• 方向控制阀集成 底部配管系列【特殊规格产品】　M3/4GB・M3QRB Series
• 先导式3・5通阀插装式模块集成　TVG系列
• 远程I/O　RT系列

●CKD独有的解决方案解决由目测和透明性检查带来的成本和风险

• 透明体检查装置　IS-UVCL01

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