小型、轻量并大幅缩短了真空破坏时间的真空切换单元。
可省配线的集成真空切换单元。
阀功耗为0.55W，也可选择自保持型，适用于节能。
【真空阀有效截面积】4.5(㎟)

行业

• 夹具关联

吸附面采用了氟树脂多孔材料的高精度吸盘。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

使用多个吸盘时，即使存在未吸附的吸盘，也可正常保持真空的防坠落阀。
【配管口径】M3, M4, M5, M6, M10, R1/8

行业

• 移载
• 搬运

采用利用磁环的缓冲机构（磁性弹簧），实现按压力恒定、长寿命、免维护的缓冲机构。

行业

去除吸气时一起被吸入的灰尘或水分，保护真空泵及发生器。
【配管口径】Rc1/8～Rc1/2

行业

配备真空破坏机构的真空发生器用真空破坏单元。
真空发生器的真空特性不变，同时可控制真空破坏空气。
【配管口径】Φ4, Φ6

行业

真空用压力开关采用数字显示，可视性更强。
【配管口径】M5, Φ4, Φ6, Φ8, 直接安装

行业

内置笔形空气吸笔组件、吸盘和真空发生器。最适用于小部件的组装等。

行业

平行凸轮机构的分度单元。
可实现1～8的分度，最适用于链条输送带的间距进给。
※选择项减速机TE系列已经停产了。

行业

适用于多种搬送的直进式拾放单元。
可利用凸轮机构，实现高速动作和高定位精度。

行业

• 组装