可调节微小流量的手动式流量调节阀。

行业

采用金属膜片的工艺气体用阀新品种。
已作为采用锻造阀体的通用型产品发布。
备有气控型、手动型。

行业

• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。

行业

• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

符合微细化发展的需求，具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。

行业

• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

90°旋转快动方式的手动阀。

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• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

手动式金属隔膜阀。270°旋转方式的手柄开闭型。

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• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

节能型真空排气装置。工艺气体排气用真空发生器。
喷嘴直径：Φ0.5

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• 化学气体供给设备用元件

既保持了高真空阀原本的可靠性，还能进行可实现多种工艺的压力控制。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

结构特殊，采用CKD独有的成型波纹管，实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

手柄旋转式高真空用手动阀。
备有铝阀体型和SUS阀体型。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）