化学液体用手动阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。

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• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可耐受高压、高背压。

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• 化学液体供给设备用元件

专为半导体制造工厂的化学液体供给设备等设计的阀，可用于强酸(盐酸、氢氟酸、硝酸)管路。

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• 化学液体供给设备用元件

1.5英寸大口径(切削阀体)的手动阀。

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以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。

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以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品，可削减配管工时并实现紧凑化。

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• 半导体制造工序（前工序）

基础型化学液体用气控阀。
备有各种基础型接头。

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• 半导体制造工序（前工序）

用于纯水等的压力控制的手动式减压阀。

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• 半导体制造工序（前工序）

电动式流量调节阀(针阀)。
可通过远程操作变更设定流量

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• 半导体制造工序（前工序）

手动式流量调节阀(针阀)。

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• 半导体制造工序（前工序）