【停产产品】

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驱动机构采用了齿轮的高夹持力的平行卡爪。
【动作行程】24、36、40、50、60mm

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【停产产品】
代替产品：
2通阀：CVE・CVSE・GCVE・GCVSE系列
3通阀：CVE3・CVSE3系列・CVE3・CVSE3系列

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【停产产品】

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适合于各种应用标准类型。

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把额定转速为11～15rps（660～900rpm）的马达也加入到产品阵容中。
紧凑并且追求高速旋转。

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追求高节拍动作的高响应类型。
穷极高转矩、低惯性构造的世界顶级水平的高响应性能。

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大中空结构可提高了设备设计的自由度（中空径：52mm～150mm）。
采用具有优异的耐环境性和改进性能的磁性ABS编码器。

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• 半导体制造工序（后工序）

追求刚性和精度的高刚性类型。
大幅提高力矩刚性、轴向刚性、转子抗扭刚性。
额定转矩：10～2000N･m。

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• 检查
• 半导体制造工序（后工序）

C※0※0系列安装用附件。

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