最适用于进行大流量真空控制的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】 : 16.5　(㎟)

行业

• 夹具关联

小型、轻量并大幅缩短了真空破坏时间的真空切换单元。
可省配线的集成真空切换单元。
阀功耗为0.55W，也可选择自保持型，适用于节能。
【真空阀有效截面积】4.5(㎟)

行业

• 夹具关联

吸附面采用了氟树脂多孔材料的高精度吸盘。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

使用多个吸盘时，即使存在未吸附的吸盘，也可正常保持真空的防坠落阀。
【配管口径】M3, M4, M5, M6, M10, R1/8

行业

• 移载
• 搬运

采用利用磁环的缓冲机构（磁性弹簧），实现按压力恒定、长寿命、免维护的缓冲机构。

行业

去除吸气时一起被吸入的灰尘或水分，保护真空泵及发生器。
【配管口径】Rc1/8～Rc1/2

行业

去除吸气时一起被吸入的灰尘或水分，保护真空泵及发生器。根据用途，备有对应各种真空配管的真空过滤器。

【配管口径】活接头型：M5, Φ4, Φ6, Φ8, Φ10, Φ12
　　　　　　插入型：Φ4, Φ6

行业

配备真空破坏机构的真空发生器用真空破坏单元。
真空发生器的真空特性不变，同时可控制真空破坏空气。
【配管口径】Φ4, Φ6

行业

真空用压力开关采用数字显示，可视性更强。
【配管口径】M5, Φ4, Φ6, Φ8, 直接安装

行业

内置笔形空气吸笔组件、吸盘和真空发生器。最适用于小部件的组装等。

行业