小型、轻量并大幅缩短了真空破坏时间的真空发生器单元。
省配线集成型。
【喷嘴直径】0.5, 0.7, 1.0　(㎜)
【吸入流量】7～24　(L/min(ANR))

行业

带破坏空气流量＆溢流压力调整针阀的真空切换单元。
集成了所有功能的标准型。
【真空阀有效截面积】3.5, 5　(㎟)

行业

小型、轻量，尤其实现了高度尺寸紧凑化的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】0.4　(㎟)

行业

• 移载

10.5mm宽的紧凑本体，多连使用时也可紧凑安装的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】
2通阀规格：3.5, 4.5　(㎟)
3通阀规格：3.0, 3.6　(㎟)

行业

最适用于进行大流量真空控制的真空切换单元。
【真空阀有效截面积】 : 16.5　(㎟)

行业

• 夹具关联

小型、轻量并大幅缩短了真空破坏时间的真空切换单元。
可省配线的集成真空切换单元。
阀功耗为0.55W，也可选择自保持型，适用于节能。
【真空阀有效截面积】4.5(㎟)

行业

• 夹具关联

吸附面采用了氟树脂多孔材料的高精度吸盘。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

使用多个吸盘时，即使存在未吸附的吸盘，也可正常保持真空的防坠落阀。
【配管口径】M3, M4, M5, M6, M10, R1/8

行业

• 移载
• 搬运

采用利用磁环的缓冲机构（磁性弹簧），实现按压力恒定、长寿命、免维护的缓冲机构。

行业

去除吸气时一起被吸入的灰尘或水分，保护真空泵及发生器。
【配管口径】Rc1/8～Rc1/2

行业