磁石を利用した緩衝機構（磁気バネ）を採用し、押し圧一定、ロングライフ、メンテナンスフリーを実現したバッファ機構です。

業種

マニュアル式の流量調整弁(ニードルバルブ)です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

お客様のご要望・フローに応じて設計、製造、検査までCKDがユニット保証します。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

大中空構造が、マシン設計の自由度を向上します（中空径：52mm～150mm）。
耐環境性に優れ、性能を向上させた磁気式ABSエンコーダを採用しています。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

お客様のワークに合せ、加工可能な子爪（生爪）をあらゆる機種ごとに揃えました。

業種

シリンダ取付け時の芯ずれ、平行度不良を解消し、無理のないロッド動作を実現するフリージョイントです。
FP1：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を使用。

業種

軽量小形のコンパクトサイズです。
【動作ストローク】8・11・14・18・20ｍｍ
FP1：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を使用。

業種

軽量小形のコンパクトサイズです。
【開閉角度】-5°～20°
FP1：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を使用。

業種

水用の小形パイロット式電磁弁です。小形、軽量、低消費電力で装置、システムの環境負荷低減に貢献します。
FP2：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を、流路部は食品衛生法適合材料（樹脂・ゴム）を使用。

業種

ダスト除去用5μmエレメント・タール除去用0.3μmのエレメントをシリーズ化しました。
FP1：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を使用。

業種