クリーンルーム内での直接排気を実現できます。中空糸膜構造の採用により、空圧回路内で使用された排気エアを高い精度で清浄化できる画期的ろ過器・クリーン排気フィルタです。

業種

フィルタエレメントに中空糸膜を採用し、ろ過性能、流量、圧損、寿命、スペースといった全ての面で高い能力を備えたインライン形クリーンフィルタです。

業種

• 理化学分析装置

小形・軽量・省スペースのインラインタイプのフィルタです。

業種

• 呼吸器/麻酔器

【販売終了品】
代替商品：FSM3シリーズ
※分離表示器：FSM2-Dシリーズは販売終了対象外です。

2画面2色表示の気体用小形流量センサです。
表示一体型、分離表示型の2種類をラインナップしています。

業種

• シールドガス
• 検査
• 理化学分析装置

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

排出されるエアーで発生する、排気騒音を減音する機器です。コンパクトタイプで消音効果は20dB〔A〕以上です。

業種

排気クリーナは、電磁弁、シリンダ等の空気圧機器から排気された圧縮空気中のダストやオイルミストを効果的に除去し、排気騒音を減らし、工場環境を良くします。クリーンな工場環境を保つオイルミスト回収効率は、99.9％以上です。

業種

シリンダの落下防止・中間停止に最適なコンパクトバルブです。
小形・軽量・豊富な口径バリエーションを揃えています。

業種

超小形タイプで、豊富なバリエーションを揃えています。

業種

用途で選べる各種チューブ類です。
信頼性が高く、省スペース配管、複雑な配管等にお応えできます。

業種

• 耐環境