ハンドル回転式の高真空用マニュアルバルブです。
アルミボディタイプとSUSボディタイプをご用意しております。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

メタルダイアフラム採用のプロセスガス用バルブの追加バリエーションです。高い信頼性と耐久性を継承しつつ、工法を最適化したエコノミーモデルです。
エアオペレイトタイプ、マニュアルタイプをご用意しております。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• 薬液供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です。
単体、集積タイプだけではなく、3方弁、2連3方弁など多種多様な
バリエーションに対応をしております。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• 薬液供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。
お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。

業種

• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

90°回転スナップアクション方式のマニュアルバルブです。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• 薬液供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

マニュアル式メタルダイアフラムバルブ。270°回転方式のハンドル開閉タイプです。

業種

• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

電流に比例して流量制御できる比例電磁弁です。
10mm幅の超小型、静音設計。装置の省スペース化に貢献します。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

【販売終了品】
代替商品：IAVBシリーズ

モータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）