薬液・純水供給部の圧力変動を、パイロットエアコントロールにより安定化できるレギュレータです。電空レギュレータとの組合せで遠隔操作による設定圧変更も可能です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

コータ・デベロッパ向け、およびベーシックタイプの薬液用エアオペレイトバルブです。
ベーシックな継手ラインナップ。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

薬液用エアオペレイトバルブのスタンダードタイプ。
成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズです。
マニホールドも2種類から選択可能です。
高圧仕様もラインアップしております。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.125inch、Wシール対応。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、Wシール対応。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、CSシール対応。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）